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龍圖騰網獲悉中國科學院微電子研究所申請的專利一種檢測自參考干涉儀棱鏡光程差的方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN119164614B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-12發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202411243781.7，技術領域涉及：G01M11/02；該發明授權一種檢測自參考干涉儀棱鏡光程差的方法是由馬敬;齊月靜;蘇佳妮;齊威設計研發完成，并于2024-09-05向國家知識產權局提交的專利申請。

本一種檢測自參考干涉儀棱鏡光程差的方法在說明書摘要公布了：本發明提供了一種檢測自參考干涉儀棱鏡光程差的方法，包括：白光光源發出的光進入偏振分光棱鏡后分成兩束偏振光，在偏振分光棱鏡上方安裝自參考干涉儀棱鏡，在位移臺上分別安裝第一反射鏡和第二反射鏡，在自參考干涉儀棱鏡下方設置分光棱鏡，在偏振分光棱鏡與自參考干涉儀棱鏡之間的光路上設置第一半波片，在偏振分光棱鏡與第一反射鏡之間的光路上設置第二半波片；測量自參考干涉儀棱鏡中第一棱鏡的光程，獲取位移臺距離初始位置的位移距離L1；測量自參考干涉儀棱鏡中第二棱鏡的光程，獲取位移臺距離初始位置的位移距離L2；然后基于L1和L2，計算獲取自參考干涉儀棱鏡的光程差。本發明能夠實現對自參考干涉儀棱鏡光程差的精確測量。

本發明授權一種檢測自參考干涉儀棱鏡光程差的方法在權利要求書中公布了：1.一種檢測自參考干涉儀棱鏡光程差的方法，其特征在于，包括： 白光光源發出的光從偏振分光棱鏡的正中心垂直入射后分成第一偏振光和第二偏振光； 在所述偏振分光棱鏡的上方安裝自參考干涉儀棱鏡，以使所述第一偏振光能夠從所述自參考干涉儀棱鏡的入射面垂直入射； 在位移臺上分別安裝第一反射鏡和第二反射鏡，使所述第二偏振光的光線依次經過所述第一反射鏡和所述第二反射鏡進行反射，所述第一反射鏡的入射光線與所述第二反射鏡的出射光線相互平行； 在所述自參考干涉儀棱鏡的下方設置分光棱鏡，以使所述第二反射鏡的出射光線和所述自參考干涉儀棱鏡的出射光線分別射入所述分光棱鏡，并分別經過所述分光棱鏡透射和反射后到達探測器； 在所述偏振分光棱鏡與所述自參考干涉儀棱鏡之間的光路上設置第一半波片，在所述偏振分光棱鏡與所述第一反射鏡之間的光路上設置第二半波片； 測量所述自參考干涉儀棱鏡中第一棱鏡的光程，調整所述位移臺沿著所述第一反射鏡的入射光線方向移動，直至在所述探測器上觀察到中間干涉條紋為白色，兩邊干涉條紋為彩色，獲取所述位移臺距離初始位置的位移距離L1； 測量所述自參考干涉儀棱鏡中第二棱鏡的光程，調整所述位移臺沿著所述第一反射鏡的入射光線方向移動，直至在所述探測器上觀察到中間干涉條紋為白色，兩邊干涉條紋為彩色，獲取所述位移臺距離初始位置的位移距離L2； 基于所述位移距離L1和所述位移距離L2，計算獲取所述自參考干涉儀棱鏡的光程差。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人中國科學院微電子研究所，其通訊地址為：100029 北京市朝陽區北土城西路3號；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。