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龍圖騰網(wǎng)獲悉上海稷以科技有限公司申請的專利半導(dǎo)體干法刻蝕設(shè)備及刻蝕溫度控制方法獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN120237061B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-09-12發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為：202510428934.3，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H01L21/67；該發(fā)明授權(quán)半導(dǎo)體干法刻蝕設(shè)備及刻蝕溫度控制方法是由劉強(qiáng);楊平;胡海明設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2025-04-08向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本半導(dǎo)體干法刻蝕設(shè)備及刻蝕溫度控制方法在說明書摘要公布了：本發(fā)明提出了一種半導(dǎo)體干法刻蝕設(shè)備及刻蝕溫度控制方法，該刻蝕設(shè)備包括：干法刻蝕腔體，其包括：晶圓加熱臺(tái)，為中空結(jié)構(gòu)，其用于加熱晶圓，其上設(shè)置液體加熱通道，液體加熱通道的一端位于晶圓加熱臺(tái)內(nèi)，另一端貫穿干法刻蝕腔體并連接加熱器；晶圓加熱臺(tái)包括晶圓加熱臺(tái)內(nèi)圈加熱區(qū)和晶圓加熱臺(tái)外圈加熱區(qū)；晶圓加熱臺(tái)內(nèi)圈加熱區(qū)連接晶圓加熱臺(tái)內(nèi)圈加熱器；晶圓加熱臺(tái)外圈加熱區(qū)上連接晶圓加熱臺(tái)外圈加熱器。本發(fā)明可實(shí)現(xiàn)對刻蝕溫度和均勻性的有效控制。

本發(fā)明授權(quán)半導(dǎo)體干法刻蝕設(shè)備及刻蝕溫度控制方法在權(quán)利要求書中公布了：1.一種半導(dǎo)體干法刻蝕設(shè)備，其特征在于，包括：干法刻蝕腔體（5），其包括：晶圓加熱臺(tái)（67），其用于加熱晶圓，其上設(shè)置液體加熱通道，液體加熱通道的一端位于晶圓加熱臺(tái)（67）內(nèi)，另一端貫穿干法刻蝕腔體（5）并連接加熱器；所述晶圓加熱臺(tái)（67）包括晶圓加熱臺(tái)內(nèi)圈加熱區(qū)（67c）和晶圓加熱臺(tái)外圈加熱區(qū)（67d）； 晶圓加熱臺(tái)內(nèi)圈加熱區(qū)（67c）通過液體加熱通道連接晶圓加熱臺(tái)內(nèi)圈加熱器（75a）； 晶圓加熱臺(tái)外圈加熱區(qū)（67d）通過液體加熱通道連接晶圓加熱臺(tái)外圈加熱器（75b）； 晶圓加熱臺(tái)內(nèi)圈加熱區(qū)（67c）內(nèi)設(shè)置穩(wěn)流架和穩(wěn)流擋板； 穩(wěn)流架、穩(wěn)流擋板與晶圓加熱臺(tái)內(nèi)圈加熱區(qū)（67c）一體成型，形成于晶圓加熱臺(tái)內(nèi)圈加熱區(qū)（67c）的內(nèi)壁； 穩(wěn)流架位于晶圓加熱臺(tái)內(nèi)圈加熱通道介質(zhì)入口（35）和晶圓加熱臺(tái)內(nèi)圈加熱通道介質(zhì)出口（36）之間； 穩(wěn)流架上開設(shè)穩(wěn)流窗口，穩(wěn)流擋板延伸至穩(wěn)流窗口中，其和穩(wěn)流窗口之間形成穩(wěn)流通道； 晶圓加熱臺(tái)內(nèi)圈加熱器（75a），具體包括： 蒸發(fā)器（7519）、加熱介質(zhì)儲(chǔ)存罐（7516）、增壓泵（7515），依次連接； 蒸發(fā)器（7519），用于降低通過的加熱介質(zhì)溫度，其包括一號輸入端、一號輸出端、二號輸入端、二號輸出端； 一號輸入端、一號輸出端之間的管路用于流通加熱介質(zhì)； 二號輸入端、二號輸出端之間的管路用于流通第二循環(huán)的內(nèi)部介質(zhì)； 冷凝器（7528），其包括第一輸入端、第一輸出端、第二輸入端和第二輸出端； 第一輸入端、第一輸出端之間的管路用于流通蒸發(fā)后形成的高溫內(nèi)部介質(zhì)； 第二輸入端、第二輸出端之間的管路用于流通冷卻介質(zhì)； 蒸發(fā)器（7519）的一號輸入端通過管路連接晶圓加熱臺(tái)加熱介質(zhì)入口（7511），蒸發(fā)器（7519）的一號輸出端連接加熱介質(zhì)儲(chǔ)存罐（7516）； 增壓泵（7515），其輸出端通過一號管路連接晶圓加熱臺(tái)加熱介質(zhì)出口（7512）； 蒸發(fā)器（7519）的二號輸入端和冷凝器（7528）的第一輸入端之間設(shè)置一號電控流量閥（7524），蒸發(fā)器（7519）的二號輸入端和冷凝器（7528）的第一輸出端之間設(shè)置二號電控流量閥（7525）； 蒸發(fā)器（7519）的二號輸出端通過二號管路連接冷凝器（7528）的第一輸入端。

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