應用材料公司V·B·沙赫獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉應用材料公司申請的專利針對碳化鎢膜改進附著和缺陷的技術獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN111602224B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-19發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：201980008285.4，技術領域涉及：H01L21/02；該發明授權針對碳化鎢膜改進附著和缺陷的技術是由V·B·沙赫;A·K·辛格;B·庫瑪;G·巴拉蘇布拉馬尼恩設計研發完成，并于2019-01-03向國家知識產權局提交的專利申請。
本針對碳化鎢膜改進附著和缺陷的技術在說明書摘要公布了：本公開內容的實施方式總的來說涉及硬掩模膜和用于沉積硬掩模膜的方法。更具體而言，本公開內容的實施方式總的來說涉及碳化鎢硬掩模膜和用于沉積碳化鎢硬掩模膜的工藝。在一個實施方式中，提供了形成碳化鎢膜的方法。所述方法包括：在第一沉積速率下，在基板的含硅表面上形成碳化鎢初始層。所述方法進一步包括：在第二沉積速率下，在碳化鎢初始層上形成碳化鎢膜，其中第二沉積速率大于第一沉積速率。
本發明授權針對碳化鎢膜改進附著和缺陷的技術在權利要求書中公布了：1.一種形成碳化鎢膜的方法，包括： 通過等離子體增強化學氣相沉積PECVD，在第一沉積速率下，直接在基板的含硅表面上形成碳化鎢初始層；以及 在第二沉積速率下，在所述碳化鎢初始層上形成碳化鎢膜，其中所述第二沉積速率大于所述第一沉積速率， 其中形成所述碳化鎢初始層包括：在第一PECVD工藝中，將所述含硅表面暴露于第一反應性氣體，所述第一反應性氣體包括WF6、C3H6和H2。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人應用材料公司，其通訊地址為：美國加利福尼亞州；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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