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龍圖騰網獲悉邁康尼股份公司申請的專利偏移對準方法和顯微光刻印刷裝置獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN115668064B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-09發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202180040102.4，技術領域涉及：G03F7/20；該發明授權偏移對準方法和顯微光刻印刷裝置是由A.斯文松設計研發完成，并于2021-05-12向國家知識產權局提交的專利申請。

本偏移對準方法和顯微光刻印刷裝置在說明書摘要公布了：一種用于顯微光刻印刷裝置的偏移對準方法，該方法包括放置S10對準目標基材。目標圖案呈現出相對于原點限定的至少兩種不同光反射率的區域。照射S20對準目標基材。測量S30反射光。通過測量的光產生S40目標圖案的反射圖像。所述照射是根據光的測試圖案進行的，該測試圖案具有有光照區域和無光照區域。該測試圖案是相對于原點限定的。從反射圖像中的與目標圖案相關的特征確定S50實測目標圖案原點，并且從反射圖像中的與測試圖案相關的特征確定實測測試圖案原點。從實測目標圖案原點與實測測試圖案原點計算S60實測位置與寫入位置之間的偏移。

本發明授權偏移對準方法和顯微光刻印刷裝置在權利要求書中公布了：1.一種用于顯微光刻印刷裝置1的偏移對準方法，包括以下步驟： -將對準目標基材置于S10所述顯微光刻印刷裝置的基材支架上； 所述對準目標基材具有呈現至少兩種不同光反射率的區域的目標圖案15； 所述目標圖案15是相對于目標圖案原點16預先確定和限定的； -通過所述顯微光刻印刷裝置1的印刷頭20照射S20所述對準目標基材； -測量S30從所述對準目標基材的不同點反射的光； -按照所述測量的光產生S40所述目標圖案的反射圖像， 其特征在于： 所述照射包括用光的測試圖案65照射所述對準目標基材； 所述測試圖案65具有有光照區域和無光照區域； 所述測試圖案65是相對于測試圖案原點66預先確定和限定的； -從與所述目標圖案15相關聯的所述反射圖像中的特征確定S50與所述目標圖案原點16對應的實測目標圖案原點16’，并且從與所述測試圖案65相關聯的所述反射圖像中的特征確定與所述測試圖案原點66對應的實測測試圖案原點66’； -以所述實測目標圖案原點16’與所述實測測試圖案原點66’之間的差異和所述目標圖案原點16與所述測試圖案原點66之間的差異的差值計算S60實測位置與寫入位置之間的偏移。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人邁康尼股份公司，其通訊地址為：瑞典泰比；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。