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龍圖騰網(wǎng)獲悉旺宏電子股份有限公司申請(qǐng)的專(zhuān)利立體存儲(chǔ)器元件及其制備方法獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專(zhuān)利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專(zhuān)利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN113224077B 。

龍圖騰網(wǎng)通過(guò)國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-09-12發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專(zhuān)利申請(qǐng)?zhí)?專(zhuān)利號(hào)為：202010138566.6，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H10B41/35；該發(fā)明授權(quán)立體存儲(chǔ)器元件及其制備方法是由賴(lài)二琨;龍翔瀾設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2020-03-03向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專(zhuān)利申請(qǐng)。

本立體存儲(chǔ)器元件及其制備方法在說(shuō)明書(shū)摘要公布了：本發(fā)明公開(kāi)了一種立體存儲(chǔ)器元件，包含襯底、多個(gè)水平導(dǎo)電層、多個(gè)垂直存儲(chǔ)器結(jié)構(gòu)以及垂直導(dǎo)電板體。多個(gè)水平導(dǎo)電層位于襯底上，這些導(dǎo)電層二緊鄰者之間形成第一空氣間隙。存儲(chǔ)器結(jié)構(gòu)穿越這些導(dǎo)電層而連接至襯底。導(dǎo)電板體位于這些存儲(chǔ)器結(jié)構(gòu)其中二緊鄰者之間，且穿越這些導(dǎo)電層而連接至襯底，導(dǎo)電板體與這些水平導(dǎo)電層緊鄰者的邊緣之間形成第二空氣間隙。

本發(fā)明授權(quán)立體存儲(chǔ)器元件及其制備方法在權(quán)利要求書(shū)中公布了：1.一種立體存儲(chǔ)器元件，包含： 一襯底； 多個(gè)水平導(dǎo)電層，位于該襯底上，這些導(dǎo)電層二緊鄰者之間形成第一空氣間隙； 多個(gè)垂直存儲(chǔ)器結(jié)構(gòu)，穿越這些導(dǎo)電層而連接至該襯底；以及 一垂直導(dǎo)電板體，位于這些存儲(chǔ)器結(jié)構(gòu)其中二緊鄰者之間，且穿越這些導(dǎo)電層而連接至該襯底，該導(dǎo)電板體與這些水平導(dǎo)電層緊鄰者的邊緣之間在水平方向上形成第二空氣間隙，該第二空氣間隙填充該垂直導(dǎo)電板體和相應(yīng)的垂直存儲(chǔ)器結(jié)構(gòu)之間的整個(gè)區(qū)域； 一共形氧化層，具有形成在第一空氣間隙和這些垂直存儲(chǔ)器結(jié)構(gòu)之間的第一部分，以及形成在第一空氣間隙和這些導(dǎo)電層之間的第二部分，其中，該第一部分和該第二部分具有均勻的厚度；以及 一非共形層，其覆蓋于這些導(dǎo)電層、這些存儲(chǔ)器結(jié)構(gòu)以及該導(dǎo)電板體的頂部的上方，該非共形層包含一第三空氣間隙位于該導(dǎo)電板體與這些存儲(chǔ)器結(jié)構(gòu)之一緊鄰者之間，該第三空氣間隙不連通至該第一、二空氣間隙。

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