上海微電子裝備(集團)股份有限公司王保亮獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉上海微電子裝備(集團)股份有限公司申請的專利一種曝光臺及光配向裝置獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN115480426B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-09發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202110602460.1，技術領域涉及：G02F1/1337；該發明授權一種曝光臺及光配向裝置是由王保亮;廖飛紅;羅聞;賈威威;李新振;梁家勇設計研發完成，并于2021-05-31向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種曝光臺及光配向裝置在說明書摘要公布了：本發明公開了一種曝光臺及光配向裝置，曝光臺包括：安裝底板、多條支柱、至少一層第一隔熱組件、加熱器和承板臺；所述承板臺用于放置基板；所述加熱器設置于所述承板臺靠近所述安裝底板的一側，并與所述承板臺固定，用于對所述承板臺加熱；所述支柱用于將所述承板臺和所述加熱器固定在所述安裝底板上；所述支柱通過所述第一隔熱組件連接所述加熱器。本發明提供的技術方案，以提供具有散熱功能的可加熱的曝光臺。
本發明授權一種曝光臺及光配向裝置在權利要求書中公布了：1.一種曝光臺，其特征在于，包括：安裝底板、多個支柱、至少一層第一隔熱組件、加熱器、調平隔熱解耦支柱組件和承板臺； 所述承板臺用于放置基板；所述加熱器設置于所述承板臺靠近所述安裝底板的一側，并與所述承板臺固定，用于對所述承板臺加熱；所述支柱用于將所述承板臺和所述加熱器固定在所述安裝底板上； 所述支柱通過所述第一隔熱組件連接所述加熱器；所述第一隔熱組件包括隔熱板，所述隔熱板與所述加熱器在局部區域進行接觸； 所述調平隔熱解耦支柱組件分別與所述承板臺和所述支柱固定連接；每個所述支柱上均設置一個所述調平隔熱解耦支柱組件； 所述調平隔熱解耦支柱組件包括螺母可調機構和隔熱塊；所述螺母可調機構用于實現所述承板臺的調平；所述隔熱塊用于防止所述加熱器發出的熱量沿所述支柱向靠近所述安裝底板的一側傳遞，并用于對所述承板臺進行熱形變解耦。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人上海微電子裝備(集團)股份有限公司，其通訊地址為：201203 上海市浦東新區自由貿易試驗區張東路1525號；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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