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龍圖騰網獲悉朗姆研究公司申請的專利利用無金屬配體的金屬原子層蝕刻及沉積設備和處理獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN113316839B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-12發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202080009348.0，技術領域涉及：H01L21/67；該發明授權利用無金屬配體的金屬原子層蝕刻及沉積設備和處理是由張賀;金潤祥;彭東羽設計研發完成，并于2020-01-07向國家知識產權局提交的專利申請。

本利用無金屬配體的金屬原子層蝕刻及沉積設備和處理在說明書摘要公布了：一種用于進行金屬ALE處理以蝕刻襯底的表面的ALE系統包含：處理室、襯底支撐件、熱源、輸送系統和控制器。襯底支撐件被設置于所述處理室中且支撐所述襯底。所述輸送系統將配體或有機物質供給至所述處理室中。所述控制器控制所述輸送系統與所述熱源以進行各向同性金屬ALE處理，所述各向同性金屬ALE處理包含：在所述各向同性金屬ALE處理的重復期間，進行原子吸附與脈沖熱退火；在所述原子吸附期間，將所述表面暴露于所述配體或所述有機物質，其中所述配體或所述有機物質并無金屬前體且被選擇性地吸附以在所述表面中形成金屬絡合物；以及在所述脈沖熱退火期間，脈沖所述熱源多次以從所述襯底移除所述金屬絡合物。

本發明授權利用無金屬配體的金屬原子層蝕刻及沉積設備和處理在權利要求書中公布了：1.一種原子層蝕刻系統，其用于進行金屬原子層蝕刻處理以蝕刻襯底的表面，所述原子層蝕刻系統包含： 配置為供給配體的源，其中所述配體包括乙酰丙酮Hacac、三氟乙酰丙酮、六氟乙酰丙酮、二新戊酰甲烷、新戊酰三氟丙酮、二苯甲酰甲烷、4,4,4-三氟-1-苯基-1,3-丁二酮、4,4-二氟-1-苯基-1,3-丁二酮、4,4,4-三氟-1-2-噻吩基-1,3-丁二酮或4,4,4-三氟-1-2-呋喃基-1,3-丁二酮； 處理室； 襯底支撐件，其被設置于所述處理室中且被配置成支撐所述襯底； 第一熱源； 輸送系統，其被配置成將所述配體供給至所述處理室中；以及 控制器，其被配置成控制所述輸送系統與所述第一熱源以進行各向同性金屬原子層蝕刻處理，所述各向同性金屬原子層蝕刻處理包含： 在所述各向同性金屬原子層蝕刻處理的重復期間，進行預處理過程、原子吸附與脈沖熱退火； 在所述襯底的所述表面的所述預處理完成時進行所述原子吸附， 在所述原子吸附期間，將所述襯底的所述表面暴露于所述源供給的所述配體，其中所述源供給的所述配體無金屬前體且被選擇性地吸附以在所述襯底的所述表面中形成金屬絡合物，并且其中所述金屬絡合物是在不引入金屬前體的情況下形成的；以及 在所述脈沖熱退火期間，脈沖所述第一熱源使其開關多次以從所述襯底移除所述金屬絡合物。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人朗姆研究公司，其通訊地址為：美國加利福尼亞州；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。