北京北旭電子材料有限公司;北旭(湖北)電子材料有限公司劉洪雷獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉北京北旭電子材料有限公司;北旭(湖北)電子材料有限公司申請的專利一種優化光刻膠穩定性的制備方法、系統及光刻膠獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN120068666B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-02發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202510535522.X,技術領域涉及:G06F30/27;該發明授權一種優化光刻膠穩定性的制備方法、系統及光刻膠是由劉洪雷;胡凡華;樸大然;盧克軍設計研發完成,并于2025-04-27向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種優化光刻膠穩定性的制備方法、系統及光刻膠在說明書摘要公布了:本發明公開了一種優化光刻膠穩定性的制備方法、系統及光刻膠,涉及光刻膠技術領域,所述方法包括:以目標產線的身份特征為約束,采集光刻膠制備日志,日志包含原料配比、反應條件及穩定性指標;基于日志構建穩定性評估模型,模型由對應多個制備環節的級聯弱學習器組成;結合評估模型與全局優化算法,迭代搜索制備參數,將模型預測結果作為目標函數輸出,制備參數為輸入;輸出滿足穩定性閾值的參數作為標準制備參數,并據此執行光刻膠制備。進而達成提高優化效率、降低優化成本并改善優化精度的技術效果。
本發明授權一種優化光刻膠穩定性的制備方法、系統及光刻膠在權利要求書中公布了:1.一種優化光刻膠穩定性的制備方法,其特征在于,所述方法包括: 以目標產線的產線身份特征為約束,采集光刻膠的制備日志,其中,所述制備日志包括原料配比、反應條件參數及對應的穩定性指標數據; 基于所述制備日志,構建穩定性評估模型,其中,所述穩定性評估模型包括級聯的多組弱學習器,且多組弱學習器對應目標產線的多個制備環節,包括: 對采集的所述制備日志數據進行缺失值填補、異常值剔除、數值歸一化與類別變量編碼處理,得到用于訓練的建模數據集; 根據光刻膠制備工藝流程的關鍵環節信息,將所述建模數據集按工藝階段進行分段,獲取多個子數據集; 獲取目標場景的評估算力指標,并結合預構的量級權重系數集分配所述評估算力指標,定義多組弱學習器的組容量約束; 以所述組容量約束為填充上限,向多組弱學習器中添加弱學習器; 依據各子數據集中包含的特征維度與數據樣本量,采用自適應采樣策略對數據進行增強或裁剪,并采用交叉驗證與早停機制對每組弱學習器進行訓練,直至在驗證集上達到穩定性評估指標收斂要求; 將訓練完成的多組弱學習器集成,并根據訓練誤差分布對弱學習器權重進行動態微調,形成所述穩定性評估模型; 結合所述穩定性評估模型與全局優化算法,對制備參數進行迭代搜索,其中,將所述穩定性評估模型的預測結果作為目標函數的輸出,所述目標函數的輸入為所述制備參數; 將所述預測結果滿足預設穩定性閾值的所述制備參數輸出為標準制備參數,并根據所述標準制備參數進行光刻膠制備。
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