中北大學張瑞獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉中北大學申請的專利一種基于傅里葉光譜和光柵光譜的超寬波段光譜橢偏結構獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN116008189B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-26發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202211546608.5,技術領域涉及:G01N21/21;該發明授權一種基于傅里葉光譜和光柵光譜的超寬波段光譜橢偏結構是由張瑞;劉燕霖;薛鵬;孟永宏;王志斌;李孟委設計研發完成,并于2022-12-05向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種基于傅里葉光譜和光柵光譜的超寬波段光譜橢偏結構在說明書摘要公布了:本發明屬于光譜橢偏結構技術領域,具體涉及一種基于傅里葉光譜和光柵光譜的超寬波段光譜橢偏結構,包括近紅外到中波紅外波段起偏模塊、深紫外到近紅外波段起偏模塊、樣品臺、檢偏模塊、軌道,所述近紅外到中波紅外波段起偏模塊、深紫外到近紅外波段起偏模塊、樣品臺和檢偏模塊均設置在軌道上,所述軌道為環形軌道,所述近紅外到中波紅外波段起偏模塊、深紫外到近紅外波段起偏模塊的光路方向上均設置有樣品臺,所述檢偏模塊設置在樣品臺的光路方向上。本發明針對不同的波段設置了不同的起偏檢偏模塊,可實現單次測量一個譜段,增大調制效率。并且本發明為檢偏模塊增加了軌道設計,使得本結構可以自動測量針對不同波段入射角透射或反射模式。
本發明授權一種基于傅里葉光譜和光柵光譜的超寬波段光譜橢偏結構在權利要求書中公布了:1.一種基于傅里葉光譜和光柵光譜的超寬波段光譜橢偏結構,其特征在于:包括近紅外到中波紅外波段起偏模塊(1)、深紫外到近紅外波段起偏模塊(2)、樣品臺(3)、檢偏模塊(4)、軌道(5),所述近紅外到中波紅外波段起偏模塊(1)、深紫外到近紅外波段起偏模塊(2)、樣品臺(3)和檢偏模塊(4)均設置在軌道(5)上,所述軌道(5)為環形軌道,所述近紅外到中波紅外波段起偏模塊(1)、深紫外到近紅外波段起偏模塊(2)的光路方向上均設置有樣品臺(3),所述檢偏模塊(4)設置在樣品臺(3)的光路方向上;所述檢偏模塊(4)包括近紅外到中波紅外波段檢偏系統(4-1)和深紫外到近紅外波段檢偏系統(4-2),所述近紅外到中波紅外波段檢偏系統(4-1)和深紫外到近紅外波段檢偏系統(4-2)并列設置,所述近紅外到中波紅外波段檢偏系統(4-1)和深紫外到近紅外波段檢偏系統(4-2)分別設置在樣品臺(3)的光路方向上;所述深紫外到近紅外波段檢偏系統(4-2)包括光柵光譜測量模塊(4-2-1)、深紫外到近紅外波段檢偏器(4-2-2)、深紫外到近紅外波段補償器(4-2-3)、第四電機(4-2-4)、第四光闌(4-2-5),所述光柵光譜測量模塊(4-2-1)設置在深紫外到近紅外波段檢偏器(4-2-2)的光路方向上,所述深紫外到近紅外波段檢偏器(4-2-2)設置在深紫外到近紅外波段補償器(4-2-3)的光路方向上,所述深紫外到近紅外波段補償器(4-2-3)設置在第四光闌(4-2-5)的光路方向上,所述深紫外到近紅外波段補償器(4-2-3)固定連接在第四電機(4-2-4)的輸出軸上,所述第四光闌(4-2-5)設置在樣品臺(3)的光路方向上。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術,可聯系本專利的申請人或專利權人中北大學,其通訊地址為:030051 山西省太原市尖草坪區學院路3號;或者聯系龍圖騰網官方客服,聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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