長江存儲科技有限責任公司李明獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉長江存儲科技有限責任公司申請的專利傳輸系統獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN111477579B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-26發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202010260820.X，技術領域涉及：H01L21/677；該發明授權傳輸系統是由李明;劉隆冬;周穎設計研發完成，并于2020-04-03向國家知識產權局提交的專利申請。
本傳輸系統在說明書摘要公布了：本發明實施例提供了一種傳輸系統，包括：多個晶圓載入埠、控制裝置及第一搬運裝置；其中，所述多個晶圓載入埠排列成多行并設置在第一支撐部件上，所述第一支撐部件用于設置在半導體機臺的入口端；所述第一搬運裝置，用于在收到所述控制裝置的第一指令后，將裝載有晶圓的晶圓傳送盒從第一暫存區域搬運至對應的晶圓載入埠中，以使所述半導體機臺的抓取裝置從所述晶圓傳送盒中獲取晶圓，并將獲取的晶圓傳送至所述半導體機臺的反應腔中進行半導體工藝處理。
本發明授權傳輸系統在權利要求書中公布了：1.一種傳輸系統，其特征在于，包括：多個晶圓載入埠、控制裝置及第一搬運裝置；其中， 所述多個晶圓載入埠在與所述晶圓載入埠的承載面垂直的方向上排列成多行并設置在第一支撐部件上，所述第一支撐部件用于設置在半導體機臺的入口端； 所述第一搬運裝置，用于在收到所述控制裝置的第一指令后，將裝載有晶圓的晶圓傳送盒從第一暫存區域搬運至對應的晶圓載入埠中，以使所述半導體機臺的抓取裝置從所述晶圓傳送盒中獲取晶圓，并將獲取的晶圓傳送至所述半導體機臺的反應腔中進行半導體工藝處理。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人長江存儲科技有限責任公司，其通訊地址為：430074 湖北省武漢市東湖新技術開發區未來三路88號；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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