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龍圖騰網(wǎng)獲悉杭州晶通科技有限公司申請(qǐng)的專利一種晶圓冷卻卡盤獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN111430290B 。

龍圖騰網(wǎng)通過(guò)國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-09-26發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：202010316666.3，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H01L21/683；該發(fā)明授權(quán)一種晶圓冷卻卡盤是由王蜀豫設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2020-04-21向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本一種晶圓冷卻卡盤在說(shuō)明書摘要公布了：本發(fā)明公開了一種晶圓冷卻卡盤，包括圓形的卡盤本體，在圓心位置有進(jìn)氣孔，在卡盤本體上靠近圓心的位置設(shè)置有聚流環(huán)，聚流環(huán)的外壁延伸出六個(gè)等角度分隔的分隔壁，將卡盤本體分隔為6個(gè)分隔區(qū)，分隔壁延伸至卡盤本體的邊緣，在相鄰的兩個(gè)分隔壁間的聚流環(huán)上有導(dǎo)流孔，在三個(gè)兩兩不相鄰的分隔區(qū)的卡盤本體上均有至少一個(gè)頂針孔，其余的三個(gè)分隔區(qū)的卡盤本體上均有真空吸盤，真空吸盤連接到同一個(gè)抽真空機(jī)。采用發(fā)明的設(shè)計(jì)方案，通過(guò)頂針的垂直運(yùn)動(dòng)接收輸送晶圓，通過(guò)真空吸盤進(jìn)行晶圓的吸附和固定，通過(guò)三點(diǎn)一個(gè)平面的形式，使得變形的晶圓也能夠被完全固定，并通過(guò)分隔區(qū)的配合，使得冷卻氣體流速變大，降溫變快。

本發(fā)明授權(quán)一種晶圓冷卻卡盤在權(quán)利要求書中公布了：1.一種晶圓冷卻卡盤，其特征在于：包括圓形的卡盤本體，在圓心位置有進(jìn)氣孔，在卡盤本體上靠近圓心的位置設(shè)置有聚流環(huán)，聚流環(huán)的外壁延伸出六個(gè)等角度分隔的分隔壁，將卡盤本體分隔為6個(gè)分隔區(qū)，分隔壁延伸至卡盤本體的邊緣，在相鄰的兩個(gè)分隔壁間的聚流環(huán)上有導(dǎo)流孔，在三個(gè)兩兩不相鄰的分隔區(qū)的卡盤本體上均有至少一個(gè)頂針孔，其余的三個(gè)分隔區(qū)的卡盤本體上均有真空吸盤，真空吸盤連接到同一個(gè)抽真空機(jī)； 分隔壁的頂部形成若干小面積的接觸點(diǎn)，分隔壁上有至少一個(gè)用于貫通相鄰分隔區(qū)的缺口； 卡盤外部的用于連接真空吸盤的管路上設(shè)置有針閥和關(guān)斷閥； 所述真空吸盤包括自卡盤本體上延伸出的形狀為漏斗狀的金屬吸嘴以及粘附在金屬吸嘴內(nèi)表面的氟橡膠吸盤。

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