南京大學;合肥國家實驗室張蠟寶獲國家專利權(quán)
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龍圖騰網(wǎng)獲悉南京大學;合肥國家實驗室申請的專利非晶鎢超導納米線單光子探測器獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN119365061B 。
龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-09-26發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為：202411436304.2，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H10N60/01；該發(fā)明授權(quán)非晶鎢超導納米線單光子探測器是由張蠟寶;馬良;王昊;陳奇;管焰秋;魏晨;楊焯林設(shè)計研發(fā)完成，并于2024-10-15向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。
本非晶鎢超導納米線單光子探測器在說明書摘要公布了：本發(fā)明公開了一種非晶鎢超導納米線單光子探測器，包括光敏部件，光敏部件為非晶鎢超導納米線；非晶鎢超導納米線非晶鎢超導納米線通過以下步驟制備得到：1在襯底上生長非晶鎢薄膜；2利用電子束曝光和反應(yīng)離子刻蝕法將非晶鎢膜刻蝕成迂回納米線結(jié)構(gòu)，得到非晶鎢超導納米線。本發(fā)明采用穩(wěn)定性好的鎢納米線作為SNSPD的主體材料，提高了SNSPD制備工藝的魯棒性，延長了SNSPD器件的實際應(yīng)用中的使用壽命。
本發(fā)明授權(quán)非晶鎢超導納米線單光子探測器在權(quán)利要求書中公布了：1.一種非晶鎢超導納米線單光子探測器，包括光敏部件，其特征在于，所述光敏部件為非晶鎢超導納米線；所述非晶鎢超導納米線通過以下步驟制備得到： （1）在襯底上生長非晶鎢薄膜； （2）利用電子束曝光和反應(yīng)離子刻蝕法將非晶鎢膜刻蝕成迂回納米線結(jié)構(gòu)，得到非晶鎢超導納米線；所述電子束曝光劑量設(shè)置為200-400μCcm2，采用圖像矯正和劑量矯正以保證納米線寬度均勻。
如需購買、轉(zhuǎn)讓、實施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)＠麢?quán)人南京大學;合肥國家實驗室，其通訊地址為：210009 江蘇省南京市鼓樓區(qū)漢口路22號；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。
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1、本報告根據(jù)公開、合法渠道獲得相關(guān)數(shù)據(jù)和信息，力求客觀、公正，但并不保證數(shù)據(jù)的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結(jié)論僅反映本公司于發(fā)布本報告當日的職業(yè)理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據(jù)或者憑證。
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