株式會社迪思科田中英明獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉株式會社迪思科申請的專利卡盤工作臺和檢查裝置獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN111564406B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-26發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202010084513.0,技術領域涉及:H01L21/687;該發明授權卡盤工作臺和檢查裝置是由田中英明設計研發完成,并于2020-02-10向國家知識產權局提交的專利申請。
本卡盤工作臺和檢查裝置在說明書摘要公布了:提供卡盤工作臺和檢查裝置,即使由透明體構成保持部,也能夠容易觀察被加工物。卡盤工作臺1對借助帶而在環狀框架的開口固定有被加工物的框架單元進行保持。卡盤工作臺1包含:由透明體構成的保持部3,其具有隔著帶而對被加工物進行保持的保持面2;框體4,其豎立設置于保持部3的周圍而圍繞保持部;以及多個吸引孔5,它們設置于框體4的內周面7。框體4的內徑為環狀框架的內徑以下,在利用框架單元的帶覆蓋框體4的開口4?1的狀態下從吸引孔5傳遞吸引力,將帶與保持面2之間的大氣排出而使帶與該保持面2緊貼,將框架單元的被加工物固定于保持面2上。
本發明授權卡盤工作臺和檢查裝置在權利要求書中公布了:1.一種卡盤工作臺,其對借助帶而在環狀框架的開口固定有被加工物的框架單元進行保持,其中, 該卡盤工作臺具有: 由透明體構成的保持部,其具有隔著帶而對被加工物進行保持的保持面;以及 框體,其豎立設置于該保持部的周圍而圍繞該保持部,該框體具有比該保持面靠上方的上表面、與該上表面相對的下表面、位于該上表面與該下表面之間的內周面以及限定在該框體中的多個吸引孔,該多個吸引孔在該框體的該內周面的該保持面與該上表面之間開口, 該框體的內徑為該環狀框架的內徑以下, 在利用該框架單元的帶覆蓋該框體的開口的狀態下從該多個吸引孔傳遞吸引力,將帶與該保持面之間的大氣排出而使帶與該保持面緊貼,將該框架單元的被加工物固定于該保持面上。
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