株式會社迪思科姚龍才獲國家專利權
買專利賣專利找龍圖騰,真高效! 查專利查商標用IPTOP,全免費!專利年費監控用IP管家,真方便!
龍圖騰網獲悉株式會社迪思科申請的專利檢查用工作臺獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN111524828B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-26發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202010078518.2,技術領域涉及:H01L21/67;該發明授權檢查用工作臺是由姚龍才;李志偉設計研發完成,并于2020-02-03向國家知識產權局提交的專利申請。
本檢查用工作臺在說明書摘要公布了:提供檢查用工作臺,不需要勞力和技能就確認裝置的狀態。在加工裝置的檢查中使用的檢查用工作臺具有:基座部,其以能夠裝卸的方式支承于卡盤工作臺的保持面或工作臺基臺;傳感器,其固定于基座部,由電力進行驅動;信息發送部,其發送傳感器所檢測出的信息;以及電池,其向傳感器和信息發送部提供電力。傳感器是壓力檢測傳感器、傾斜檢測傳感器、溫度檢測傳感器、光量傳感器或圖像傳感器。檢查用工作臺使用傳感器來檢測或記錄與卡盤工作臺、加工單元、工作臺基臺或移動單元相關聯的壓力、傾斜度、溫度、光量或所拍攝的外觀。
本發明授權檢查用工作臺在權利要求書中公布了:1.一種檢查用工作臺,其在加工裝置中使用,該加工裝置具有:卡盤工作臺,其利用保持面對被加工物進行保持;加工單元,其與該保持面相對,對該卡盤工作臺所保持的被加工物進行加工;工作臺基臺,其將該卡盤工作臺支承為裝卸自如;移動單元,其使該工作臺基臺移動;以及照相機單元,其對該卡盤工作臺所保持的被加工物進行拍攝,其中, 該檢查用工作臺包含: 基座部,其以能夠裝卸的方式支承于該卡盤工作臺的該保持面或該工作臺基臺; 傳感器,其固定于該基座部,由電力進行驅動; 信息發送部,其發送該傳感器所檢測出的信息;以及 電池,其向該傳感器和該信息發送部提供電力, 該傳感器至少具有光量傳感器和圖像傳感器,該光量傳感器能夠檢測該照相機單元的光量, 該圖像傳感器取得該檢查用工作臺的上方的圖像, 該信息發送部發送至少由該光量傳感器和該圖像傳感器檢測到的信息。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術,可聯系本專利的申請人或專利權人株式會社迪思科,其通訊地址為:日本東京都;或者聯系龍圖騰網官方客服,聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息,力求客觀、公正,但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解,僅供參考使用,不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。