南京泛銓電子科技有限公司柳紀綸獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉南京泛銓電子科技有限公司申請的專利一種平整固定晶圓小晶粒平臺獲國家實用新型專利權,本實用新型專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN223389171U 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-26發布的實用新型授權公告中獲悉:該實用新型的專利申請號/專利號為:202423144433.2,技術領域涉及:G01B21/30;該實用新型一種平整固定晶圓小晶粒平臺是由柳紀綸;陳榮欽;曾國翔設計研發完成,并于2024-12-19向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種平整固定晶圓小晶粒平臺在說明書摘要公布了:本實用新型公開了一種平整固定晶圓小晶粒平臺,涉及芯片檢測技術領域,包括內部為中空結構的載物臺,載物臺頂端的后部固定安裝有縱向支架,縱向支架的頂端固定安裝有橫向支架,橫向支架底端的前部固定安裝有伸縮機構,伸縮機構的執行端固定安裝有平整頭,載物臺的頂端前側設置有主控單元,主控單元包括安裝于載物臺內的主控板、嵌入載物臺頂端的顯示器和設置于顯示器右側載物臺上的多個控制按鈕,主控板分別與伸縮機構、顯示器和多個控制按鈕信號連接,本實用新型通過伸縮機構驅動平整頭對晶圓小晶粒進行精確平整,確保小晶粒底端與載具頂端完全貼合,提高晶圓的質量與性能。
本實用新型一種平整固定晶圓小晶粒平臺在權利要求書中公布了:1.一種平整固定晶圓小晶粒平臺,其特征在于,包括內部為中空結構的載物臺1,所述載物臺1頂端的后部固定安裝有縱向支架2,所述縱向支架2的頂端固定安裝有橫向支架21,所述橫向支架21底端的前部固定安裝有伸縮機構3,所述伸縮機構3的執行端固定安裝有平整頭4,所述載物臺1的頂端前側設置有主控單元6,所述主控單元6包括安裝于載物臺1內的主控板61、嵌入載物臺1頂端的顯示器62和設置于顯示器62右側載物臺1上的多個控制按鈕63,所述主控板61分別與伸縮機構3、顯示器62和多個控制按鈕63信號連接。
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