清華大學;華海清科股份有限公司劉遠航獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉清華大學;華海清科股份有限公司申請的專利一種晶圓對中機構、晶圓傳輸裝置及晶圓加工設備獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN113130363B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-26發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：201911420141.8，技術領域涉及：H01L21/68；該發明授權一種晶圓對中機構、晶圓傳輸裝置及晶圓加工設備是由劉遠航;趙德文;王江濤設計研發完成，并于2019-12-31向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種晶圓對中機構、晶圓傳輸裝置及晶圓加工設備在說明書摘要公布了：本發明公開了一種晶圓對中機構、晶圓傳輸裝置及晶圓加工設備，所述晶圓對中機構包括基座、驅動件、連桿及夾持件，連桿鉸接于驅動件與夾持件之間構成的連桿組件同心設置于所述基座；所述驅動件的豎向移動通過連桿轉化為所述夾持件的同步水平移動，水平移動的夾持件推動設置于基座的晶圓移動使得晶圓與基座同心。
本發明授權一種晶圓對中機構、晶圓傳輸裝置及晶圓加工設備在權利要求書中公布了：1.一種晶圓對中機構，其包括基座、驅動件、連桿及夾持件，連桿鉸接于驅動件與夾持件之間構成的連桿組件同心設置于所述基座；所述驅動件的豎向移動通過連桿轉化為所述夾持件的同步水平移動，水平移動的夾持件推動設置于基座的晶圓移動使得晶圓與基座同心；夾持件的數量為多個，其沿基座的中心對稱分布；部分夾持件配置有柔性部，所述柔性部與晶圓的邊緣抵接；所述夾持件分兩組對稱設置于基座，所述夾持件的至少三個未配置柔性部且未配置柔性部的夾持件來自不同組；未配置柔性部的夾持件用于保證晶圓的對中精度，配置柔性部的夾持件用于提升晶圓對中機構的柔性，防止晶圓碎片，提升晶圓對中機構的穩定性。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人清華大學;華海清科股份有限公司，其通訊地址為：100084 北京市海淀區清華園1號；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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