睿勵科學儀器(上海)有限公司張昊獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉睿勵科學儀器(上海)有限公司申請的專利光學系統的調試方法和光學檢測系統獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN119803866B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-26發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202411954512.1,技術領域涉及:G01M11/02;該發明授權光學系統的調試方法和光學檢測系統是由張昊;包建;何君博;楊浩哲;相春昌設計研發完成,并于2024-12-27向國家知識產權局提交的專利申請。
本光學系統的調試方法和光學檢測系統在說明書摘要公布了:本發明提供一種光學系統的調試方法和光學檢測系統,本發明首先搭建光學標定系統,使得干涉儀可以接收到視場光信號和波面光信號;其次,本發明通過利用標定通孔可以快速定位標定物鏡的位置和第二反射鏡的位置;再次,本發明通過將標定通孔替換成標定狹縫,可以大大提升物鏡焦點與第二反射鏡重合時的位置精度;再次,本發明將標定物鏡替換成檢測物鏡,在第二反射鏡球心位置確定的前提下,本發明可以將檢測物鏡的焦點與第二反射鏡的球心重合;最后本發明通過在替換標定物鏡時,將檢測物鏡設置有一定的視場角,可以得到全視場下高NA物鏡產生的波面信息。本發明具有結構簡單、操作便捷的優點。
本發明授權光學系統的調試方法和光學檢測系統在權利要求書中公布了:1.一種光學系統的調試方法,其特征在于,所述光學系統的調試方法至少包括以下步驟: S1:搭建光學標定系統;所述光學標定系統包括:干涉儀、第一反射鏡、標定物鏡及第二反射鏡;所述干涉儀發出輸入光信號分別傳輸至所述第一反射鏡和所述標定物鏡;所述第一反射鏡與所述標定物鏡平行設置,所述第一反射鏡將所述輸入光信號的第一部分光反射回所述干涉儀,以得到視場光信號;所述標定物鏡的光軸與所述干涉儀的光軸平行,所述標定物鏡將所述輸入光信號的第二部分光進行匯聚,并傳輸至所述第二反射鏡;所述第二反射鏡為凹球面反射鏡,所述第二反射鏡將反射光束進行匯聚,匯聚后的反射光束經過所述標定物鏡后回到所述干涉儀,以得到波面光信號; S2:使用標定平板調試所述光學標定系統;所述標定平板設置在所述標定物鏡和所述第二反射鏡之間,并且所述標定平板所在的平面與所述干涉儀的光軸垂直,所述標定平板上設置有標定通孔和標定狹縫;首先,調整所述標定通孔或者所述標定物鏡的位置,使得所述標定物鏡的焦點設置在所述標定通孔的位置上;其次,調整所述第二反射鏡的位置,使得所述第二反射鏡的球心設置在所述標定通孔的位置上;再次,使用所述標定狹縫替換所述標定光學系統中的標定通孔,調整所述標定狹縫的位置,使得所述標定狹縫在所述干涉儀中的成像中心與所述標定物鏡的視場中心重合; S3:將所述標定光學系統的標定物鏡替換為檢測物鏡,所述檢測物鏡與干涉儀光軸的視場角為0度,所述檢測物鏡沿著所述干涉儀的光軸移動,使得所述檢測物鏡的視場中心與所述標定狹縫在所述干涉儀中的成像中心重合,將所述標定平板撤出光路,獲取光學檢測系統。
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