買專利賣專利找龍圖騰，真高效！ 查專利查商標用IPTOP,全免費！專利年費監控用IP管家,真方便！

龍圖騰網獲悉北京特思迪半導體設備有限公司申請的專利上研磨拋光盤系統獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN120190703B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-26發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202510678379.X，技術領域涉及：B24B7/22；該發明授權上研磨拋光盤系統是由黨金行;寇明虎設計研發完成，并于2025-05-26向國家知識產權局提交的專利申請。

本上研磨拋光盤系統在說明書摘要公布了：本申提供一種上研磨拋光盤系統，涉及半導體加工技術領域，包括上研磨拋光盤、盤體單元、盤蓋單元、盤芯單元及連接套；上研磨拋光盤固裝于盤體單元的下方；盤蓋單元固連于盤體單元的上方，且盤蓋單元與盤體單元之間形成空腔；盤芯單元被包裹在空腔內；連接套一端用于固連于一安裝基礎上，另一端與盤芯單元的中部固連；盤芯單元包括第一磁性模塊，盤蓋單元的下表面和盤體單元的上表面二者至少之一設有用于與第一磁性模塊形成磁性配合的第一磁性元件；通過控制第一磁性模塊和或第一磁性元件的磁極方向和二者之間的磁場強度，以控制盤芯單元施加于盤蓋單元和盤體單元的磁力方向和磁力值。提高了對晶圓壓力的調節范圍、控制精度及研磨拋光質量。

本發明授權上研磨拋光盤系統在權利要求書中公布了：1.一種上研磨拋光盤系統，其特征在于，包括上研磨拋光盤、盤體單元、盤蓋單元、盤芯單元及連接套； 所述上研磨拋光盤固裝于所述盤體單元的下方； 所述盤蓋單元固連于所述盤體單元的上方，且所述盤蓋單元與所述盤體單元之間形成空腔； 所述盤芯單元被包裹在所述空腔內； 所述連接套一端用于固連于一安裝基礎上，另一端穿過所述盤蓋單元與所述盤芯單元的中部固連； 所述盤芯單元包括第一磁性模塊，所述盤蓋單元的下表面和所述盤體單元的上表面二者至少之一設有用于與所述第一磁性模塊形成磁性配合的第一磁性元件； 通過控制所述第一磁性模塊和或所述第一磁性元件的磁極方向和二者之間的磁場強度，以控制所述盤芯單元施加于所述盤蓋單元和盤體單元的磁力方向和磁力值，進而控制所述上研磨拋光盤向下施加的下壓力值； 所述盤芯單元還包括盤芯體，所述第一磁性模塊為多組，多組所述第一磁性模塊內嵌于所述盤芯體，多組所述第一磁性模塊在所述盤芯體上以所述盤芯體的中心呈放射狀分布； 所述盤蓋單元還包括盤蓋體，所述盤體單元還包括盤體；所述盤蓋單元和或所述盤體單元的所述第一磁性元件為多組，多組所述第一磁性元件嵌裝在所述盤蓋體的下表面和或所述盤體的上表面、呈多個同心圓環結構； 所述盤芯單元的中心部位固設有凸起套，所述凸起套與所述連接套固定連接； 所述凸起套內設有定心單元，所述定心單元包括定心軸和調心軸承，所述定心軸沿所述凸起套的軸線方向設置，所述調心軸承套裝在所述定心軸上，所述調心軸承的內圈與所述定心軸固定，所述調心軸承的外圈能夠在所述凸起套內上下滑動； 所述定心單元還包括第二磁性模塊和第二磁性元件，所述第二磁性元件與所述定心軸固定連接，所述第二磁性模塊與所述盤芯單元固定連接；所述第二磁性模塊與所述第二磁性元件為耦合副，所述第二磁性模塊與所述第二磁性元件之間設有間隙。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人北京特思迪半導體設備有限公司，其通訊地址為：101300 北京市順義區杜楊北街3號院6號樓(順創)；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。