中北大學耿文平獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉中北大學申請的專利高靈敏寬量程的壓電式壓力傳感器獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN120489391B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-26發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202510968710.1,技術領域涉及:G01L1/16;該發明授權高靈敏寬量程的壓電式壓力傳感器是由耿文平;丑修建;喬驍駿;魏浩然;潘飛宇;汪子涵設計研發完成,并于2025-07-15向國家知識產權局提交的專利申請。
本高靈敏寬量程的壓電式壓力傳感器在說明書摘要公布了:本發明涉及半導體壓電測量技術領域,具體涉及一種高靈敏寬量程的壓電式壓力傳感器,主要解決現有壓電式壓力傳感器靈敏度與絕緣性不可兼得的技術問題。本壓電式壓力傳感器包括:金屬殼體,其形成有環形的安裝腔;壓敏單元,其壓置于安裝腔內且包括兩個晶圓片和一個電極片,電極片夾設于兩個晶圓片之間,晶圓片為在經過極化處理的鐵電晶體的兩端面生長絕緣層所形成的三明治結構;連接器,其包括管狀接頭和同軸固定在管狀接頭內的中軸,管狀接頭與金屬殼體電氣連接,中軸與電極片電氣連接。本壓電式壓力傳感器不但具有高靈敏度的特性,而且絕緣層的設置也會使傳感器輸出的絕緣電阻得到有效提升,從而能夠實現在準靜態條件下的穩定輸出。
本發明授權高靈敏寬量程的壓電式壓力傳感器在權利要求書中公布了:1.一種高靈敏寬量程的壓電式壓力傳感器,其特征在于,包括: 金屬殼體(1),其形成有環形的安裝腔(11),且所述安裝腔(11)的側壁上設有安裝窗口(12); 壓敏單元(2),其壓置于所述安裝腔(11)內且包括兩個晶圓片(21)和一個電極片(22),所述晶圓片(21)和電極片(22)皆為環形且同軸布置,所述電極片(22)夾設于兩個晶圓片(21)之間,所述晶圓片(21)為在經過極化處理的鐵電晶體的兩端面生長絕緣層所形成的三明治結構; 連接器(3),其包括管狀接頭(31)和同軸固定在管狀接頭(31)內的中軸(32),所述管狀接頭(31)固定在所述安裝窗口(12)處且與金屬殼體(1)電氣連接,所述中軸(32)與所述管狀接頭(31)電氣隔離且與所述電極片(22)電氣連接; 所述金屬殼體(1)包括環形底座(13)、環形壓蓋(14)和外圈(15),所述環形底座(13)與環形壓蓋(14)同軸布置且上下相隔以形成所述安裝腔(11),所述壓敏單元(2)壓置于所述環形底座(13)和環形壓蓋(14)之間,所述外圈(15)套接在所述環形底座(13)的外圓面和環形壓蓋(14)的外圓面上,所述安裝窗口(12)開設于所述外圈(15)上;所述環形底座(13)的上表面內邊緣向上凸設形成內筒(16),所述內筒(16)的頂部套接在所述環形壓蓋(14)的內圓面上,所述壓敏單元(2)與所述內筒(16)電氣隔離。
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