上海芯源微企業發展有限公司宋宣頡獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉上海芯源微企業發展有限公司申請的專利基板搬運裝置、搬運方法及基板處理裝置獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN120545234B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-26發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202511020864.4，技術領域涉及：H01L21/677；該發明授權基板搬運裝置、搬運方法及基板處理裝置是由宋宣頡;彭博;董志強;王榮祥;李爽;肖靜;趙琦設計研發完成，并于2025-07-24向國家知識產權局提交的專利申請。
本基板搬運裝置、搬運方法及基板處理裝置在說明書摘要公布了：本發明提供了一種基板搬運裝置、搬運方法及基板處理裝置，基板搬運裝置包括搬運機器人，搬運機器人包括手指模組，手指模組包括手指，手指包括固定組件和活動組件，所述固定組件和所述活動組件均具有第一夾緊件和第二夾緊件以及用于安裝第一夾緊件以及第二夾緊件的承載件，活動組件的承載件位于第一位置時，固定組件的第一夾緊件和活動組件的第二夾緊件用于固定基板，活動組件的承載件位于第二位置時，固定組件的第二夾緊件和活動組件的第一夾緊件用于固定基板，該基板搬運裝置能夠滿足使用手指的不同部位固定處理前、后的基板，減少或者避免了接觸處理前基板的手指污染處理后的基板的概率，提高了產品良率。
本發明授權基板搬運裝置、搬運方法及基板處理裝置在權利要求書中公布了：1.一種基板搬運裝置，其特征在于： 包括搬運機器人，所述搬運機器人包括手指模組，所述手指模組包括手指，所述手指包括固定組件和活動組件； 所述固定組件和所述活動組件均具有第一夾緊件和第二夾緊件以及用于安裝所述第一夾緊件以及所述第二夾緊件的承載件，所述活動組件的承載件能夠運動至第一位置和第二位置，所述活動組件的承載件位于所述第一位置時，所述固定組件的第一夾緊件和所述活動組件的第二夾緊件用于固定基板，所述活動組件的承載件位于所述第二位置時，所述固定組件的第二夾緊件和所述活動組件的第一夾緊件用于固定基板。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人上海芯源微企業發展有限公司，其通訊地址為：201306 上海市浦東新區中國(上海)自由貿易試驗區臨港新片區飛渡路1388號；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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