蘇州邁為科技股份有限公司孫松獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉蘇州邁為科技股份有限公司申請的專利傳輸校正機構及硅片生產流水線獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN114639625B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-23發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202210246370.8,技術領域涉及:H01L21/677;該發明授權傳輸校正機構及硅片生產流水線是由孫松;龔志清;查俊;王博;蘇茳設計研發完成,并于2022-03-14向國家知識產權局提交的專利申請。
本傳輸校正機構及硅片生產流水線在說明書摘要公布了:本發明涉及一種傳輸校正機構及硅片生產流水線,硅片生產流水線包括傳輸校正機構,傳輸校正機構包括驅動模塊、傳輸模塊和校正模塊,傳輸模塊傳動連接于驅動模塊,傳輸模塊能在驅動模塊的驅動下沿第一方向傳輸工件;校正模塊連接于傳輸模塊,校正模塊具有校正間隙,校正間隙沿第二方向的尺寸能夠在驅動模塊的驅動下減小或增大,第二方向垂直于第一方向。當校正間隙沿第二方向的尺寸減小時,校正模塊能夠觸碰到工件相對兩端,以對工件放置于傳輸模塊的位置進行校正。使得只需一個電機即可同時驅動傳輸模塊及校正模塊一次完成傳輸和校正兩個動作,解決了現有的傳輸校正機構校正準確率低、傳輸校正所需時間長,及生產和維護成本較高的問題。
本發明授權傳輸校正機構及硅片生產流水線在權利要求書中公布了:1.一種傳輸校正機構,其特征在于,包括: 驅動模塊; 傳輸模塊,所述傳輸模塊包括主動軸組件和與所述主動軸組件相連接的第一直線運動轉換機構,所述主動軸組件傳動連接于所述驅動模塊,所述主動軸組件能夠在所述驅動模塊的驅動下繞自身軸線方向旋轉,并帶動所述第一直線運動轉換機構沿第一方向傳輸工件;及 校正模塊,所述校正模塊包括從動軸組件、第二直線運動轉換機構和兩個校正組件,所述從動軸組件傳動連接所述主動軸組件,以通過所述傳輸模塊傳動連接于所述驅動模塊,兩個所述校正組件通過所述第二直線運動轉換機構與所述從動軸組件傳動連接,兩個所述校正組件沿第二方向間隔排布以形成有校正間隙,所述主動軸組件繞自身軸線方向旋轉時,能夠帶動所述從動軸組件同步繞自身軸線方向旋轉,并通過所述第二直線運動轉換機構驅動兩個所述校正組件相互遠離或靠近,以使得所述校正間隙沿第二方向的尺寸能夠在所述驅動模塊的驅動下減小或增大; 所述校正間隙沿所述第二方向的尺寸減小時,所述校正模塊能夠觸碰到所述工件相對兩端,以對所述工件放置于所述傳輸模塊的位置進行校正; 其中,所述第一方向垂直于所述第二方向。
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