深圳市聯得自動化裝備股份有限公司鄭嘉瑞獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉深圳市聯得自動化裝備股份有限公司申請的專利鍵合驅動裝置和倒裝芯片鍵合機獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN114937612B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-23發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202210332526.4,技術領域涉及:H01L21/60;該發明授權鍵合驅動裝置和倒裝芯片鍵合機是由鄭嘉瑞;王明軍;張浩;尹祖金;周寬林;李虎;曾勝林;耿小猛;胡金;武杰設計研發完成,并于2022-03-31向國家知識產權局提交的專利申請。
本鍵合驅動裝置和倒裝芯片鍵合機在說明書摘要公布了:本發明涉及一種鍵合驅動裝置和倒裝芯片鍵合機,鍵合驅動裝置包括支撐臺、第一驅動組件、旋轉驅動組件及保持件,旋轉驅動組件設于支撐臺上,第一驅動組件設于旋轉驅動組件上,第一驅動組件包括連接軸,連接軸用于與轉接軸連接,第一驅動組件能夠驅動鍵合頭沿第一方向靠近或遠離基板;旋轉驅動組件與第一驅動組件連接用于驅動第一驅動組件以第一方向為軸線轉動;保持件設于支撐臺上,保持件上開設有用于容納轉接軸和或連接軸的過孔,保持件能夠在過孔內形成高壓填充體,以使轉接軸與過孔保持同心。鍵合驅動裝置能夠便于實現芯片與基板高精度鍵合。倒裝芯片鍵合機包括上述鍵合驅動裝置,能夠實現芯片與基板高精度鍵合。
本發明授權鍵合驅動裝置和倒裝芯片鍵合機在權利要求書中公布了:1.一種鍵合驅動裝置,與鍵合頭的轉接軸連接用于控制所述鍵合頭靠近或遠離基板,其特征在于,所述鍵合驅動裝置包括支撐臺、第一驅動組件、旋轉驅動組件及保持件,所述旋轉驅動組件設于所述支撐臺上,所述第一驅動組件設于所述旋轉驅動組件上,所述第一驅動組件包括連接軸,所述連接軸用于與所述轉接軸連接,所述第一驅動組件能夠驅動所述鍵合頭沿第一方向靠近或遠離所述基板;所述旋轉驅動組件與所述第一驅動組件連接用于驅動所述第一驅動組件以所述第一方向為軸線轉動;所述保持件設于支撐臺上,所述保持件上開設有用于容納所述轉接軸和或連接軸的過孔,所述保持件能夠在所述過孔內形成高壓填充體,以使所述轉接軸與所述過孔保持同心; 其中,所述第一驅動組件還包括承載架以及設于所述承載架上的第一驅動件,所述旋轉驅動組件與所述承載架連接用于驅動所述承載架轉動,所述第一驅動件與所述連接軸連接用于驅動所述鍵合頭沿第一方向靠近或遠離所述基板。
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