蘇州工業園區納米產業技術研究院有限公司蔣慧俊獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉蘇州工業園區納米產業技術研究院有限公司申請的專利適用于雙拋片的多晶硅刻蝕機臺手臂獲國家實用新型專利權，本實用新型專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN223378148U 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-23發布的實用新型授權公告中獲悉：該實用新型的專利申請號/專利號為：202422040608.9，技術領域涉及：H01L21/683；該實用新型適用于雙拋片的多晶硅刻蝕機臺手臂是由蔣慧俊;饒文超設計研發完成，并于2024-08-22向國家知識產權局提交的專利申請。
本適用于雙拋片的多晶硅刻蝕機臺手臂在說明書摘要公布了：本申請提供了一種適用于雙拋片的多晶硅刻蝕機臺手臂，屬于雙拋片技術領域。該適用于雙拋片的多晶硅刻蝕機臺手臂包括連接組件和固定組件，放置板設置于手臂本體一端，放置板一側相對應設置有孔槽，弧形卡板設置于放置板一側，防滑層設置于放置板一側，首先現通過孔槽或者將孔槽的位置距離適當增加，孔徑稍微加大，以改變吸附真空的空間大小，其次通過放置板上的防滑層，已達到真空快速釋放的效果，不同孔徑距離，吸附造成的真空空間大小不同，會影響后期釋放時的響應時間，由于放置板表面較為平滑，通過防滑層增大摩擦力，進而可有效縮短晶圓真空釋放時的時間，達到不拖片、不掉片的目的，從而提高了實用性。
本實用新型適用于雙拋片的多晶硅刻蝕機臺手臂在權利要求書中公布了：1.一種適用于雙拋片的多晶硅刻蝕機臺手臂，其特征在于，包括 連接組件（100），所述連接組件（100）包括手臂本體（110）和放置板（120），所述放置板（120）設置于所述手臂本體（110）一端，所述放置板（120）一側相對應設置有孔槽（130）； 固定組件（200），所述固定組件（200）包括弧形卡板（210）和防滑層（220），所述弧形卡板（210）設置于所述放置板（120）一側，所述防滑層（220）設置于所述放置板（120）一側，所述防滑層（220）為含有二氧化硅的鍍層。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人蘇州工業園區納米產業技術研究院有限公司，其通訊地址為：215000 江蘇省蘇州市工業園區金雞湖大道99號蘇州納米城西北區19幢1樓2樓3樓；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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