合肥孚烜自動化科技有限公司郭甫獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉合肥孚烜自動化科技有限公司申請的專利一種光掩膜版清洗掛架獲國家實用新型專利權,本實用新型專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN223367787U 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-23發布的實用新型授權公告中獲悉:該實用新型的專利申請號/專利號為:202422628042.1,技術領域涉及:B08B13/00;該實用新型一種光掩膜版清洗掛架是由郭甫;趙國飛;王飛;趙樂設計研發完成,并于2024-10-30向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種光掩膜版清洗掛架在說明書摘要公布了:本實用新型公開了一種光掩膜版清洗掛架,涉及光掩膜版清洗領域,包括橫桿,所述橫桿下端安裝有下掛架。本實用新型通過設置的橫桿、下掛架、第一限位槽、第二限位槽、第三限位槽、卡槽桿、限板塊和小清洗架,將小清洗架以同樣的方式安裝在下掛架上,并通過第三限位槽上的卡槽桿和限板塊進行固定小清洗架,此時可以將3英寸、6英寸的光掩膜版放置在小清洗架上,通過第一限位槽和第二限位槽內的卡槽桿和限板塊進行固定不同尺寸的光掩膜版,以便用來轉運,或是進行其他的工藝,此裝置能夠兼容不同尺寸的光掩膜版,對設備的生產能力有了很大的提升,客戶可以自由選擇相應的制程,而不用受限于設備,提升裝置的兼容性。
本實用新型一種光掩膜版清洗掛架在權利要求書中公布了:1.一種光掩膜版清洗掛架,包括橫桿1,其特征在于:所述橫桿1下端安裝有下掛架2,所述下掛架2中端開設有第一限位槽3,所述下掛架2中端開設有第二限位槽4,所述下掛架2中端開設有第三限位槽5,所述第三限位槽5中端安裝有卡槽桿6,所述卡槽桿6前端安裝有限板塊7,所述下掛架2一端安裝有固定輪8,所述固定輪8上端安裝有小清洗架9,所述小清洗架9上端安裝有架鉤10,所述固定輪8上端安裝有850x1440光掩膜版11。
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