江蘇三米科思半導體設備有限公司王亞德獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉江蘇三米科思半導體設備有限公司申請的專利一種深紫外物鏡同軸的自動聚焦像質補償裝置獲國家實用新型專利權，本實用新型專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN223377541U 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-23發布的實用新型授權公告中獲悉：該實用新型的專利申請號/專利號為：202422790245.0，技術領域涉及：G02B7/09；該實用新型一種深紫外物鏡同軸的自動聚焦像質補償裝置是由王亞德;付文升;陳彬設計研發完成，并于2024-11-15向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種深紫外物鏡同軸的自動聚焦像質補償裝置在說明書摘要公布了：本實用新型屬于光學、機械設計技術領域，具體涉及一種深紫外物鏡同軸的自動聚焦像質補償裝置，本自動聚焦像質補償裝置包括：第一補償鏡片和第二補償鏡片；其中所述第一補償鏡片、第二補償鏡片位于光路上，且所述第一補償鏡片與第二補償鏡片膠合設置；本實用新型通過在自動聚焦前段的光路上增設第一補償鏡片、第二補償鏡片，能夠彌補DUV物鏡對紅外波段的不足，并且調節組件調整第一補償鏡片、第二補償鏡片的位置與DUV物鏡共軸，實現在DUV物鏡的同軸方向對晶圓自動聚焦，確保晶圓處于DUV物鏡的焦深范圍內。
本實用新型一種深紫外物鏡同軸的自動聚焦像質補償裝置在權利要求書中公布了：1.一種深紫外物鏡同軸的自動聚焦像質補償裝置，其特征在于，包括： 第一補償鏡片（1）、第二補償鏡片（2）和調節組件（4）；其中 所述第一補償鏡片（1）、第二補償鏡片（2）位于光路（3）上，且所述第一補償鏡片（1）與第二補償鏡片（2）膠合設置； 所述第一補償鏡片（1）、第二補償鏡片（2）與調節組件（4）活動連接； 所述調節組件（4）適于調整第一補償鏡片（1）、第二補償鏡片（2）的位置； 所述調節組件（4）包括：外套圈（41）、內套圈（42）和微調單元（43）； 所述外套圈（41）套設在內套圈（42）的外側，所述第一補償鏡片（1）、第二補償鏡片（2）與內套圈（42）連接，且所述微調單元（43）穿過外套圈（41）、內套圈（42）； 所述微調單元（43）適于抵推內套圈（42）在外套圈（41）內移動；以及 所述微調單元（43）還適于抵推內套圈（42）復位。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人江蘇三米科思半導體設備有限公司，其通訊地址為：213000 江蘇省常州市天寧區常州檢驗檢測產業園5號樓101室；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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