應(yīng)用材料公司T·A·恩古耶獲國家專利權(quán)
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龍圖騰網(wǎng)獲悉應(yīng)用材料公司申請的專利用于斜面蝕刻腔室的加熱器支撐套件獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN114026673B 。
龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-09-12發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為：202080044306.0，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H01L21/02；該發(fā)明授權(quán)用于斜面蝕刻腔室的加熱器支撐套件是由T·A·恩古耶;J·李;A·M·帕特爾;A·A·哈賈設(shè)計研發(fā)完成，并于2020-02-21向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。
本用于斜面蝕刻腔室的加熱器支撐套件在說明書摘要公布了：本文描述的實施例總體涉及用于處理基板的設(shè)備。在一個或多個實施例中，一種加熱器支撐套件包括：加熱器組件，所述加熱器組件含有具有上表面和下表面的加熱器板；卡環(huán)，所述卡環(huán)設(shè)置在所述加熱器板的所述上表面的至少一部分上；加熱器臂組件，所述加熱器臂組件含有加熱器臂并且支撐所述加熱器組件；和加熱器支撐板，所述加熱器支撐板設(shè)置在所述加熱器板與所述加熱器臂之間并且與所述加熱器板的所述下表面的至少一部分接觸。
本發(fā)明授權(quán)用于斜面蝕刻腔室的加熱器支撐套件在權(quán)利要求書中公布了：1.一種加熱器支撐套件，包括： 加熱器組件，所述加熱器組件包括具有上表面和下表面的加熱器板； 卡環(huán)，所述卡環(huán)設(shè)置在所述加熱器板的所述上表面的至少一部分上； 加熱器臂組件，所述加熱器臂組件包括加熱器臂，所述加熱器臂組件與所述加熱器板的所述下表面的至少一部分接觸，并且支撐所述加熱器組件；和 加熱器支撐板，所述加熱器支撐板設(shè)置在所述加熱器板與所述加熱器臂之間，并且與所述加熱器板的所述下表面的至少一部分接觸。
如需購買、轉(zhuǎn)讓、實施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)＠麢?quán)人應(yīng)用材料公司，其通訊地址為：美國加利福尼亞州；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。
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1、本報告根據(jù)公開、合法渠道獲得相關(guān)數(shù)據(jù)和信息，力求客觀、公正，但并不保證數(shù)據(jù)的最終完整性和準確性。
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