上海普達特半導體設備有限公司黃允文獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉上海普達特半導體設備有限公司申請的專利一種環形分布式半導體設備獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN114446837B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-12發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202210166130.7，技術領域涉及：H01L21/67；該發明授權一種環形分布式半導體設備是由黃允文;劉二壯;劉楓;蔡斌;劉濤設計研發完成，并于2022-02-23向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種環形分布式半導體設備在說明書摘要公布了：本發明提供一種環形分布式半導體設備，包括具有中轉臺的前端模塊，具有多個反應腔且與中轉臺呈環形分布的反應腔模塊，以及位于環形分布的內部的傳輸模塊，且傳輸模塊包括旋轉件，旋轉件上安裝有機械手臂，通過旋轉件的旋轉運行，將晶圓在中轉臺及反應腔內進行傳輸。本發明的環形分布式半導體設備可提高半導體設備的操作便捷性及適用性，簡化半導體設備的布局、減小設備尺寸、降低設備成本、實現同時處理多個工藝腔體內的晶圓傳取放操作，使得半導體設備的多腔處理能力大大加強，產能大大提高。
本發明授權一種環形分布式半導體設備在權利要求書中公布了：1.一種環形分布式半導體設備，其特征在于，所述半導體設備包括： 前端模塊，所述前端模塊包括中轉臺，所述中轉臺為移動式中轉臺，通過所述移動式中轉臺的運行，所述移動式中轉臺兼具完成前端的晶圓傳輸過程以及中端的晶圓中轉過程；或所述前端模塊還包括前端晶圓傳輸模塊，所述前端晶圓傳輸模塊包括裝載臺，所述裝載臺直接作為所述中轉臺使用； 反應腔模塊，所述反應腔模塊包括多個反應腔，且多個所述反應腔及所述中轉臺呈環形分布，且在所述環形分布中，所述反應腔及所述中轉臺為等間距分布； 傳輸模塊，所述傳輸模塊位于所述環形分布的內部，且所述傳輸模塊包括旋轉件，所述旋轉件周向上安裝有M個機械手臂，M＞2，通過所述旋轉件的繞心旋轉運行，將晶圓在所述中轉臺及所述反應腔內進行傳輸，且帶動位于所述旋轉件上的所述機械手臂旋轉運行，且M個所述機械手臂的安裝位置與所述反應腔及所述中轉臺的位置相對應，以對多片晶圓進行同時傳輸，包括傳、取、放的過程。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人上海普達特半導體設備有限公司，其通訊地址為：200120 上海市浦東新區中國（上海）自由貿易試驗區張東路1387號33幢101室；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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