北京北方華創微電子裝備有限公司成曉陽獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉北京北方華創微電子裝備有限公司申請的專利阻抗匹配方法及匹配器獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN115020182B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-12發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202210724592.6，技術領域涉及：H01J37/32；該發明授權阻抗匹配方法及匹配器是由成曉陽;吳韋;陳鵬;趙晉榮設計研發完成，并于2022-06-24向國家知識產權局提交的專利申請。
本阻抗匹配方法及匹配器在說明書摘要公布了：本發明提供一種阻抗匹配方法及匹配器，包括：判斷等離子體啟輝是否成功；若否，則采用預設的啟輝算法計算獲得阻抗可變元件的調整方向和調整量，并根據調整方向及調整量，調節阻抗可變元件的數值；若是，則根據檢測到的阻抗匹配網絡的輸出端的電壓信號、電流信號和角度差信號，計算獲得當前的負載阻抗，并根據負載阻抗，獲得阻抗可變元件的目標值；根據阻抗可變元件的當前值和目標值，按多個設定步長和與每個設定步長對應的設定速度，分步調節阻抗可變元件的數值，以將負載阻抗從當前的實部值和虛部值同時調節至匹配點對應的實部值和虛部值。本發明提供的阻抗匹配方法，可以實現匹配器的穩定啟輝和穩定匹配。
本發明授權阻抗匹配方法及匹配器在權利要求書中公布了：1.一種阻抗匹配方法，應用于匹配器，所述匹配器包括由阻抗可變元件構成的阻抗匹配網絡；其特征在于，所述阻抗匹配方法包括： 判斷等離子體啟輝是否成功； 若否，則采用預設的啟輝算法計算獲得所述阻抗可變元件的調整方向和調整量，并根據所述調整方向及所述調整量，調節所述阻抗可變元件的數值，然后返回所述判斷等離子體啟輝是否成功的步驟； 若是，則根據檢測到的所述阻抗匹配網絡的輸出端的電壓信號、電流信號和角度差信號，計算獲得當前的負載阻抗，并根據所述負載阻抗，獲得所述阻抗可變元件的目標值； 根據所述阻抗可變元件的當前值和所述目標值，按多個設定步長和與每個所述設定步長對應的設定速度，分步調節所述阻抗可變元件的數值，以將所述負載阻抗從當前的實部值和虛部值同時調節至匹配點對應的實部值和虛部值。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人北京北方華創微電子裝備有限公司，其通訊地址為：100176 北京市北京經濟技術開發區文昌大道8號；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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