朗姆研究公司彭東宇獲國家專利權
買專利賣專利找龍圖騰，真高效！ 查專利查商標用IPTOP,全免費！專利年費監控用IP管家,真方便！
龍圖騰網獲悉朗姆研究公司申請的專利包括帶有遠心透鏡的透鏡電路、光束折疊組件或多邊形掃描儀的原子層蝕刻和沉積處理系統獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN112385029B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-16發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：201980044981.0，技術領域涉及：H01L21/67；該發明授權包括帶有遠心透鏡的透鏡電路、光束折疊組件或多邊形掃描儀的原子層蝕刻和沉積處理系統是由彭東宇;云桑·S·金姆;張賀;基思·威爾斯;艾倫·M·舍普設計研發完成，并于2019-05-02向國家知識產權局提交的專利申請。
本包括帶有遠心透鏡的透鏡電路、光束折疊組件或多邊形掃描儀的原子層蝕刻和沉積處理系統在說明書摘要公布了：一種襯底處理系統包括：處理室、襯底支撐件、激光器和準直組件。所述襯底支撐件被設置在所述處理室中并且被配置為支撐襯底。所述激光器被配置為產生激光束。所述準直組件包括多個透鏡或反射鏡，所述多個透鏡或反射鏡被布置成將所述激光束朝所述襯底引導以加熱所述襯底的暴露的材料。所述多個透鏡或反射鏡被配置成沿在與所述襯底的表面垂直的預定范圍內的方向引導所述激光束。
本發明授權包括帶有遠心透鏡的透鏡電路、光束折疊組件或多邊形掃描儀的原子層蝕刻和沉積處理系統在權利要求書中公布了：1.一種襯底處理系統，其包括： 處理室； 襯底支撐件，其設置在所述處理室中并且被配置為支撐襯底； 激光器，其被配置為產生激光束； 透鏡電路，其包括光束成形光學器件，以將所述激光束從圓形激光束轉換為方形激光束；和 包括多個透鏡或反射鏡的準直組件，所述多個透鏡或反射鏡被布置成將所述激光束朝所述襯底引導以加熱所述襯底的暴露的材料，其中，所述多個透鏡或反射鏡被配置成沿在與所述襯底的表面垂直的預定范圍內的方向引導所述激光束；和 控制器，所述控制器被配置為在蝕刻工藝或沉積工藝期間執行快速熱脈沖工藝，所述快速熱脈沖工藝包括：i生成控制信號以調制所述激光束，以使所述暴露的材料經受多個熱能脈沖，以及ii使得所述暴露的材料能在所述多個熱能脈沖中的連續的熱能脈沖之間冷卻。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人朗姆研究公司，其通訊地址為：美國加利福尼亞州；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
以上內容由AI智能生成
免責聲明
1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
開放平臺
擔保交易
惠及多方
會員特惠
專屬平臺
適合多方
數據共享
功能齊全
皖公網安備 34010402703815號