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          中國科學(xué)院近代物理研究所劉俊亮獲國家專利權(quán)

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          龍圖騰網(wǎng)獲悉中國科學(xué)院近代物理研究所申請(qǐng)的專利一種提高三維原子探針圖像重構(gòu)精度系統(tǒng)和方法獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán),本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予,授權(quán)公告號(hào)為:CN119064640B

          龍圖騰網(wǎng)通過國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-09-09發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉:該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為:202411248052.0,技術(shù)領(lǐng)域涉及:G01Q40/00;該發(fā)明授權(quán)一種提高三維原子探針圖像重構(gòu)精度系統(tǒng)和方法是由劉俊亮;于得洋;王偉設(shè)計(jì)研發(fā)完成,并于2024-09-06向國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

          一種提高三維原子探針圖像重構(gòu)精度系統(tǒng)和方法在說明書摘要公布了:本發(fā)明屬于原子探針層析成像技術(shù)領(lǐng)域,涉及一種提高三維原子探針圖像重構(gòu)精度系統(tǒng)和方法,包括:APT樣品旋轉(zhuǎn)裝置,用于放置APT樣品,并帶動(dòng)APT樣品繞軸旋轉(zhuǎn);聚焦電子束發(fā)生裝置,用于產(chǎn)生照射APT樣品的聚焦電子束;電子束偏轉(zhuǎn)裝置,用于對(duì)聚焦電子束進(jìn)行調(diào)節(jié);偏轉(zhuǎn)后聚焦電子束照射預(yù)定角度的APT樣品,形成背散射電子信號(hào),背散射電子探測裝置,用于采集背散射電子信號(hào);背散射電子探測裝置設(shè)置在聚焦電子束發(fā)生裝置和電子束偏轉(zhuǎn)裝置之間,其中心位置設(shè)置供聚集電阻通過的通孔。其能夠在APT測試過程中原位監(jiān)測APT樣品的表面形貌,并得到相應(yīng)的電場分布。重建過程可根據(jù)表面形貌和相應(yīng)的電場分布對(duì)結(jié)果進(jìn)行校正,從而提高重建精度。

          本發(fā)明授權(quán)一種提高三維原子探針圖像重構(gòu)精度系統(tǒng)和方法在權(quán)利要求書中公布了:1.一種提高三維原子探針圖像重構(gòu)精度系統(tǒng),其特征在于,包括:APT樣品旋轉(zhuǎn)裝置、聚焦電子束發(fā)生裝置、電子束偏轉(zhuǎn)裝置和背散射電子探測裝置; 所述APT樣品旋轉(zhuǎn)裝置,用于放置APT樣品,并帶動(dòng)所述APT樣品繞軸旋轉(zhuǎn); 所述聚焦電子束發(fā)生裝置,用于產(chǎn)生照射所述APT樣品的聚焦電子束; 所述電子束偏轉(zhuǎn)裝置,用于對(duì)所述聚焦電子束進(jìn)行調(diào)節(jié); 偏轉(zhuǎn)后聚焦電子束照射預(yù)定角度的APT樣品,形成背散射電子信號(hào),所述背散射電子探測裝置,用于采集所述背散射電子信號(hào); 所述背散射電子探測裝置設(shè)置在所述聚焦電子束發(fā)生裝置和電子束偏轉(zhuǎn)裝置之間,其中心位置設(shè)置供所述聚焦電子束通過的通孔。

          如需購買、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類似專利技術(shù),可聯(lián)系本專利的申請(qǐng)人或?qū)@麢?quán)人中國科學(xué)院近代物理研究所,其通訊地址為:730013 甘肅省蘭州市城關(guān)區(qū)南昌路509號(hào);或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服,聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。

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