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龍圖騰網(wǎng)獲悉蘇州賽騰精密電子股份有限公司申請(qǐng)的專利一種晶圓分片機(jī)構(gòu)獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN120413488B 。

龍圖騰網(wǎng)通過(guò)國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-09-09發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：202510918315.2，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H01L21/67；該發(fā)明授權(quán)一種晶圓分片機(jī)構(gòu)是由孫豐;李振豪設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2025-07-03向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本一種晶圓分片機(jī)構(gòu)在說(shuō)明書摘要公布了：本申請(qǐng)公開一種晶圓分片機(jī)構(gòu)，包括：放置組件，包括兩個(gè)限位軸，限位軸沿第一方向延伸，兩個(gè)限位軸之間的距離小于晶圓的直徑；吸取組件，包括多個(gè)吸嘴，多個(gè)吸嘴的吸取平面相齊平；吸取平面具有垂直于第一方向的吸取位置和垂直于豎直方向的放置位置；與吸取組件相連的第一驅(qū)動(dòng)件，用于驅(qū)動(dòng)吸取組件繞第二方向延伸的旋轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)，使吸取平面在吸取位置和放置位置之間切換；與吸取組件相連的第一吹氣口和第二吹氣口，第一吹氣口和第二吹氣口在第二方向上分別位于吸取組件的兩側(cè)；第一吹氣口的形狀為圓形，第二吹氣口的形狀為扁長(zhǎng)形；與吸取組件相連的移動(dòng)組件，用于驅(qū)動(dòng)吸取組件在第一方向和豎直方向上移動(dòng)。所述晶圓分片機(jī)構(gòu)能實(shí)現(xiàn)快速取片。

本發(fā)明授權(quán)一種晶圓分片機(jī)構(gòu)在權(quán)利要求書中公布了：1.一種晶圓分片機(jī)構(gòu)，其特征在于，包括： 放置組件，包括用于放置晶圓的兩個(gè)限位軸，所述限位軸沿第一方向延伸，兩個(gè)所述限位軸之間的距離小于所述晶圓的直徑； 吸取組件，包括多個(gè)吸嘴，多個(gè)所述吸嘴的吸取平面相齊平；所述吸取平面具有垂直于第一方向的吸取位置和垂直于豎直方向的放置位置； 與所述吸取組件相連的第一驅(qū)動(dòng)件，用于驅(qū)動(dòng)所述吸取組件繞第二方向延伸的旋轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)，使所述吸取平面在所述吸取位置和放置位置之間切換；所述第一方向、第二方向和豎直方向兩兩相互垂直； 與所述吸取組件相連的第一吹氣口和第二吹氣口，所述第一吹氣口和第二吹氣口在第二方向上分別位于所述吸取組件的兩側(cè)；所述第一吹氣口的形狀為圓形，所述第二吹氣口的形狀為扁長(zhǎng)形； 與所述吸取組件相連的移動(dòng)組件，用于驅(qū)動(dòng)所述吸取組件在所述第一方向和豎直方向上移動(dòng)； 所述第二吹氣口包括多個(gè)沿直線排列的子吹氣口，所述子吹氣口的形狀為圓形；所述子吹氣口的直徑小于所述第一吹氣口的直徑。

如需購(gòu)買、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請(qǐng)人或?qū)＠麢?quán)人蘇州賽騰精密電子股份有限公司，其通訊地址為：215124 江蘇省蘇州市吳中區(qū)郭巷街道淞葭路585號(hào)；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。