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本發(fā)明授權(quán)碳化硅襯底片的加工方法及碳化硅襯底片在權(quán)利要求書(shū)中公布了：1.一種碳化硅襯底片的加工方法，其特征在于，包括如下步驟： 將切割后的碳化硅襯底片根據(jù)WARP值和BOW值進(jìn)行分檔，所述分檔為將碳化硅襯底片至少分為第一檔位及第二檔位，所述第一檔位的襯底片的WARP值和BOW值小于第二檔位的襯底片的WARP值和BOW值； 對(duì)第二檔位的襯底片進(jìn)行低溫退火處理； 合并第一檔位襯底片及第二檔位襯底片，進(jìn)行高溫退火； 所述低溫退火的保溫溫度低于所述高溫退火的保溫溫度；所述低溫退火的保溫溫度為1300～1600℃；所述高溫退火的保溫溫度為1550～1780℃；在同一次的加工過(guò)程中，低溫退火的保溫溫度至少低于高溫退火的保溫溫度180℃； 所述低溫退火及高溫退火過(guò)程中，各襯底片在高度方向上采用間隔排布的放置方式。

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