買專利賣專利找龍圖騰，真高效！ 查專利查商標用IPTOP,全免費！專利年費監(jiān)控用IP管家,真方便！

龍圖騰網(wǎng)獲悉應(yīng)用材料公司申請的專利具有嵌入式加熱器的面板獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN110808201B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-09-09發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為：201910717559.9，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H01J37/32；該發(fā)明授權(quán)具有嵌入式加熱器的面板是由D·黃;張宇星;K·高希;K·阿拉亞瓦里;A·K·班塞爾設(shè)計研發(fā)完成，并于2019-08-05向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本具有嵌入式加熱器的面板在說明書摘要公布了：公開了一種用于處理腔室的面板。所述面板具有主體，所述主體具有多個孔隙，所述多個孔隙穿過所述主體形成。撓曲件形成在所述主體中，部分地包圍所述多個孔隙。切口在與所述撓曲件的公共半徑上穿過所述主體形成。一個或多個孔口從所述切口的徑向內(nèi)表面延伸到所述主體的外表面。加熱器設(shè)置在所述撓曲件與所述多個孔隙之間。所述撓曲件和所述切口是限制來自所述加熱器的熱傳遞從其經(jīng)過的熱扼流器。

本發(fā)明授權(quán)具有嵌入式加熱器的面板在權(quán)利要求書中公布了：1.一種處理腔室，包括： 主體，所述主體具有側(cè)壁和底部； 蓋，所述蓋耦接到所述主體，以在其中限定處理容積；以及 面板，所述面板耦接到所述蓋，所述面板包括： 主體，所述主體具有第一表面、第二表面和在所述第一表面與所述第二表面之間延伸的外表面； 多個孔隙，所述多個孔隙穿過所述面板的主體形成在所述第一表面與所述第二表面之間； 撓曲件，所述撓曲件環(huán)繞所述多個孔隙，所述撓曲件部分地包圍所述多個孔隙；以及 切口，所述切口穿過所述面板的主體鄰接所述撓曲件形成，所述切口和所述撓曲件具有公共半徑， 其中所述撓曲件由一系列交錯通道形成，所述交錯通道部分地穿過所述面板的主體， 其中所述切口具有徑向內(nèi)表面和徑向外表面，且 其中所述切口和所述撓曲件形成環(huán)狀，使所述面板的主體被加熱時熱膨脹而沒有過應(yīng)力。

如需購買、轉(zhuǎn)讓、實施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)＠麢?quán)人應(yīng)用材料公司，其通訊地址為：美國加利福尼亞州；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。