應用材料公司M·嘉德瑞獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉應用材料公司申請的專利基板變形檢測和校正獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN112106179B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-09發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：201980030330.6，技術領域涉及：H01L21/66；該發明授權基板變形檢測和校正是由M·嘉德瑞設計研發完成，并于2019-04-05向國家知識產權局提交的專利申請。
本基板變形檢測和校正在說明書摘要公布了：公開了用于檢測和校正進入基板變形的方法和設備。將基板定位在第一工藝腔室中，在第一工藝腔室中檢測基板彎曲的存在和類型。基于基板彎曲檢測、以及基板是否具有壓縮彎曲或拉伸彎曲的確定，來選擇用于執行的基板處理程序。可在第一工藝腔室中或在第二工藝腔室中執行基板處理程序，以在基板的進一步處理之前或期間校正或減輕彎曲。
本發明授權基板變形檢測和校正在權利要求書中公布了：1.一種用于基板處理的方法，包括： 在第一工藝腔室中生成等離子體，同時將基板定位在所述第一工藝腔室中； 基于在所述第一工藝腔室中的多個傳感器來生成所述基板的指紋，其中所述指紋被定義為用于在所述第一工藝腔室中生成所述等離子體的功率的曲線圖，并且其中所述指紋是通過監測所述基板的反射功率來生成的； 將所述指紋與多個存儲的指紋模型進行比較，以確定所述基板是否變形；以及 基于確定所述基板是變形的，選擇用于所述基板的基板處理程序以校正所述基板變形。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人應用材料公司，其通訊地址為：美國加利福尼亞州；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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