常州時(shí)創(chuàng)能源股份有限公司鄧舜獲國家專利權(quán)
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龍圖騰網(wǎng)獲悉常州時(shí)創(chuàng)能源股份有限公司申請(qǐng)的專利一種半片硅塊的切割工藝獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán),本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予,授權(quán)公告號(hào)為:CN115946250B 。
龍圖騰網(wǎng)通過國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-08-29發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉:該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為:202211472113.2,技術(shù)領(lǐng)域涉及:B28D5/04;該發(fā)明授權(quán)一種半片硅塊的切割工藝是由鄧舜;馬琦雯設(shè)計(jì)研發(fā)完成,并于2022-11-23向國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。
本一種半片硅塊的切割工藝在說明書摘要公布了:本發(fā)明提供了一種半片硅塊的切割工藝,屬于晶硅切片技術(shù)領(lǐng)域;在本發(fā)明中,本發(fā)明設(shè)計(jì)采用了四個(gè)輥(均帶驅(qū)動(dòng))排布的切片方式將輥輪的長度控制在350?450mm,該方法能夠減少在布線時(shí)分的線網(wǎng)的數(shù)量,將線網(wǎng)減少至9?11個(gè),在縮短工藝時(shí)間的同時(shí)平衡線網(wǎng)的張力,使得制備得到的硅片TTV率<1%,高線、斷線率<5%。
本發(fā)明授權(quán)一種半片硅塊的切割工藝在權(quán)利要求書中公布了:1.一種半片硅塊的切割工藝,其特征在于,所述切割工藝包括: S1.將半片硅塊進(jìn)行粘棒,然后將其固定在切割機(jī)上,所述切割機(jī)包括四個(gè)輥,然后根據(jù)半片硅塊拼接的縫隙繞著四個(gè)輥進(jìn)行分線網(wǎng)布線,得到布線后的硅棒; 硅棒的固定步驟為:將硅棒與切割機(jī)的線網(wǎng)呈平行狀態(tài),硅棒距線網(wǎng)0.5-2mm; 所述四個(gè)輥均帶有驅(qū)動(dòng),可自行轉(zhuǎn)動(dòng);所述四個(gè)輥中包括第一主輥(1)、第一副輥(2)、第二主輥(3)和第二副輥(4);所述第一主輥(1)、第一副輥(2)、第二主輥(3)之間形成頂角角度為140~160°的等腰三角形;所述第一主輥(1)、第二副輥(4)、第二主輥(3)之間形成頂角角度為100~120°的倒置的等腰三角形; 所述四個(gè)輥的輥輪的長度均為350-450mm,第一主輥(1)和第二主輥(3)的直徑為200±5mm,第一副輥(2)和第二副輥(4)的直徑為150±5mm;第一主輥(1)和第二主輥(3)之間的軸間距為900-1000mm 共分9-11個(gè)線網(wǎng),布線采用線徑為35-43μm的金剛線; S2.將切割液在工作倉中循環(huán)并調(diào)整線速進(jìn)行預(yù)熱,預(yù)熱結(jié)束后調(diào)整所述切割機(jī)的切割參數(shù):金剛線線速600-2000mmin,放線張力為3.5-4.5N,收線張力為3.5-4.5N,切割溫度控制在20-25℃,切割液流量控制在150-220Lmin,整體工藝時(shí)間在60-120min;切割機(jī)切割時(shí),金剛線的臺(tái)速變化為1100→2600→100μmmin,升棒速度變化為20→30→40mmmin; S3.切割完畢后得到未脫膠的硅片,將所述未脫膠的硅片置于脫膠機(jī)中進(jìn)行脫膠,然后放入硅片清洗機(jī)中清洗,最終得到成品硅片。
如需購買、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類似專利技術(shù),可聯(lián)系本專利的申請(qǐng)人或?qū)@麢?quán)人常州時(shí)創(chuàng)能源股份有限公司,其通訊地址為:213300 江蘇省常州市溧陽市溧城鎮(zhèn)吳潭渡路8號(hào);或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服,聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。
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