林君明獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉林君明申請的專利包含磷銅合金的導電結構及所述導電結構的制備方法獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN116779585B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-29發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202310239468.5,技術領域涉及:H01L23/528;該發明授權包含磷銅合金的導電結構及所述導電結構的制備方法是由林君明設計研發完成,并于2023-03-14向國家知識產權局提交的專利申請。
本包含磷銅合金的導電結構及所述導電結構的制備方法在說明書摘要公布了:本揭示內容提出一種多層布線結構,包含復數個介電層、與這些介電層交錯的復數個導電布線層,其中這些導電布線層包含磷銅合金例如Cu3P。
本發明授權包含磷銅合金的導電結構及所述導電結構的制備方法在權利要求書中公布了:1.一種多層布線結構,包含: 復數個層壓層;以及 復數個導電布線層,與所述復數個層壓層交錯,其中所述復數個導電布線層包含磷銅合金,其中所述磷銅合金中的磷成分介于13.98%至14.39%, 其中,所述復數個導電布線層進一步包含鋸齒狀導線,其具有至少兩個相鄰突起以及位于所述至少兩個相鄰突起之間的氣隙, 其中所述復數個導電布線層其中之一者包含銅層與由所述磷銅合金形成的磷銅合金層,所述磷銅合金暴露于所述氣隙,并且所述磷銅合金層介于所述銅層與所述氣隙之間以使所述銅層與所述氣隙隔絕。
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