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龍圖騰網獲悉北京北方華創微電子裝備有限公司申請的專利一種晶舟和半導體工藝設備獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN115172232B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-26發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202211014377.3，技術領域涉及：H01L21/673；該發明授權一種晶舟和半導體工藝設備是由陳振偉;周文飛;楊帥;黃嶸彪;石磊設計研發完成，并于2022-08-23向國家知識產權局提交的專利申請。

本一種晶舟和半導體工藝設備在說明書摘要公布了：本發明公開一種晶舟和半導體工藝設備，所公開的晶舟包括頂板、底板和多組承載柱，每組所述承載柱包括至少一個所述承載柱，所述承載柱用于承載晶圓，所述承載柱用于與所述頂板和所述底板可拆卸相連；在所述多組承載柱中的一組所述承載柱的兩個端部與相應的所述頂板和所述底板相連的情況下，所述頂板、所述底板和所述承載柱圍成容納晶圓的容納空間，其他組所述承載柱均與所述頂板和所述底板分離。上述方案可以解決相關技術中由于不同的工藝條件需要不同的晶舟而存在晶舟數量較多而導致占用空間大的問題。

本發明授權一種晶舟和半導體工藝設備在權利要求書中公布了：1.一種晶舟，其特征在于，包括頂板（100）、底板（200）和多組承載柱（300），每組所述承載柱（300）包括至少一個所述承載柱（300），所述承載柱（300）用于承載晶圓，所述承載柱（300）用于與所述頂板（100）和所述底板（200）可拆卸連接； 所述頂板（100）和所述底板（200）在對應位置均間隔的設有多個安裝位（400），所述承載柱（300）的兩個端部分別用于與對應的所述頂板（100）的所述安裝位（400）和所述底板（200）的所述安裝位（400）可拆卸連接，所述多個安裝位（400）分為多組，多組所述安裝位（400）與所述多組承載柱（300）一一對應； 所述多組承載柱（300）中的至少一組所述承載柱（300）的所述承載柱（300）的數量與其他組所述承載柱（300）的所述承載柱（300）的數量不同； 在所述多組承載柱（300）中的一組所述承載柱（300）的兩個端部與相應的所述頂板（100）和所述底板（200）相連的情況下，所述頂板（100）、所述底板（200）和所述承載柱（300）圍成容納晶圓的容納空間，其他組所述承載柱（300）均與所述頂板（100）和所述底板（200）分離。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人北京北方華創微電子裝備有限公司，其通訊地址為：100176 北京市大興區經濟技術開發區文昌大道8號；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。