安徽華矽半導體科技有限公司;宣城先進光伏技術有限公司李琴獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉安徽華矽半導體科技有限公司;宣城先進光伏技術有限公司申請的專利一種適用于PECVD的氣體噴淋頭獲國家實用新型專利權，本實用新型專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN223268759U 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-26發布的實用新型授權公告中獲悉：該實用新型的專利申請號/專利號為：202422389892.0，技術領域涉及：C23C16/50；該實用新型一種適用于PECVD的氣體噴淋頭是由李琴;孫曉東;顧勇;屈長明;王家奇;曾雯欣;蔡愛玲;陳占開;郭鐵設計研發完成，并于2024-09-30向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種適用于PECVD的氣體噴淋頭在說明書摘要公布了：本實用新型涉及氣體噴淋設備技術領域，具體涉及一種適用于PECVD的氣體噴淋頭，為解決現有技術氣體流速不均勻、制備效率低的問題。該氣體噴淋頭包括圍管，管狀結構；氣體噴淋板，設置在所述圍管的下端，其上設有若干出氣孔，所述出氣孔的縱向剖面為中間細兩端粗的腰鼓狀；所述圍管遠離所述氣體噴淋板的一端與通氣管連接，所述圍管的內部上下兩端之間的空間構成一個氣體容納腔；所述通氣管向所述氣體容納腔內輸入需要的氣體，氣體通過出氣孔向外均勻擴散。
本實用新型一種適用于PECVD的氣體噴淋頭在權利要求書中公布了：1.一種適用于PECVD的氣體噴淋頭，其特征在于，包括 圍管14，管狀結構； 氣體噴淋板11，設置在所述圍管14的下端，其上設有若干出氣孔111，所述出氣孔111的縱向剖面為中間細兩端粗的腰鼓狀； 所述圍管14遠離所述氣體噴淋板11的一端與通氣管連接，所述圍管14的內部上下兩端之間的空間構成一個氣體容納腔12； 所述通氣管向所述氣體容納腔12內輸入需要的氣體，氣體通過出氣孔111向外均勻擴散。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人安徽華矽半導體科技有限公司;宣城先進光伏技術有限公司，其通訊地址為：242000 安徽省宣城市宣城經濟技術開發區清流路99號；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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