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龍圖騰網獲悉北京北方華創微電子裝備有限公司申請的專利一種波紋管組件及半導體工藝設備獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN119433508B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-26發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202411516201.7，技術領域涉及：C23C16/455；該發明授權一種波紋管組件及半導體工藝設備是由陳平;李新龍;劉文;柯棟方設計研發完成，并于2024-10-28向國家知識產權局提交的專利申請。

本一種波紋管組件及半導體工藝設備在說明書摘要公布了：本申請提供了一種波紋管組件及半導體工藝設備，其中，波紋管組件適用于包括腔室主體和提升機構的半導體工藝設備，其包括波紋管本體和吹掃組件，波紋管本體包括第一連接端和第二連接端，第一連接端密封連接腔室主體，第二連接端密封連接于提升機構的升降臺，以使波紋管本體能夠在提升機構的驅動下伸縮；吹掃組件與波紋管本體的內腔連通以向波紋管本體的內腔中吹氣，用于阻止反應腔中的工藝顆粒進入波紋管本體的內腔；如此，基座的底部和波紋管本體的內壁將不會產生工藝副產物的殘留和積累，進而無需在基座升降后，對工藝腔室進行清潔，可有效提高半導體工藝設備的生產效率。

本發明授權一種波紋管組件及半導體工藝設備在權利要求書中公布了：1.一種波紋管組件，其特征在于，適用于包括腔室主體和提升機構的半導體工藝設備，所述波紋管組件包括： 波紋管本體，包括第一連接端和第二連接端，所述第一連接端密封連接所述腔室主體，所述第二連接端密封連接于所述提升機構的升降臺，以使所述波紋管本體能夠在所述提升機構的驅動下伸縮；所述第一連接端和所述腔室主體通過上法蘭連接；所述波紋管本體包括軸向分布的第一管段和第二管段，且所述第一管段和所述第二管段通過中法蘭連接； 吹掃組件，與所述波紋管本體的內腔連通以向所述波紋管本體的內腔中吹氣，用于阻止所述腔室主體的內腔中的工藝顆粒進入所述波紋管本體的內腔； 導向結構，連接所述上法蘭和所述中法蘭，以使所述中法蘭沿所述波紋管本體的軸向移動；所述導向結構包括設置在所述上法蘭和所述中法蘭中一者上的導向套，以及設置在另一者上的導向桿，所述導向套和所述導向桿均位于所述上法蘭和所述中法蘭的內腔外側，并均沿所述波紋管本體的軸向設置；所述導向桿伸入到所述導向套中，并與所述導向套滑動配合；所述導向桿為長度能夠改變的伸縮桿，以能夠調整所述上法蘭和所述中法蘭在波紋管組件的極限壓縮狀態下的距離，且所述中法蘭上或者所述中法蘭與所述上法蘭之間設置有用于向所述波紋管本體的內腔中導入吹掃氣流的通道。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人北京北方華創微電子裝備有限公司，其通訊地址為：100176 北京市大興區北京經濟技術開發區文昌大道8號；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。