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龍圖騰網(wǎng)獲悉科磊股份有限公司申請的專利多級、多區(qū)域襯底定位系統(tǒng)獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN113939902B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-09-26發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為：202080040851.2，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H01L21/68；該發(fā)明授權(quán)多級、多區(qū)域襯底定位系統(tǒng)是由Y·于齊耶爾;U·鉑爾曼;F·拉斯克;N·古特曼;A·希爾德斯海姆;A·巴朗設(shè)計研發(fā)完成，并于2020-06-17向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本多級、多區(qū)域襯底定位系統(tǒng)在說明書摘要公布了：一種第一x?y平移載物臺、一種第二x?y平移載物臺及一種卡盤安置于腔室中。所述卡盤位于所述第二x?y平移載物臺上方且耦合到所述第二x?y平移載物臺，所述第二x?y平移載物臺位于所述第一x?y平移載物臺上方且耦合到所述第一x?y平移載物臺。所述卡盤經(jīng)配置以支撐襯底且通過所述第一x?y載物臺及所述第二x?y載物臺在x方向及y方向上平移，所述x方向及所述y方向基本上平行于所述卡盤的其上將安裝所述襯底的表面。第一屏障及第二屏障也安置于所述腔室中。所述第一屏障耦合到所述第一x?y平移載物臺以使所述腔室的第一區(qū)域與所述腔室的第二區(qū)域分離。所述第二屏障耦合到所述第二x?y平移載物臺以使所述腔室的所述第一區(qū)域與所述腔室的第三區(qū)域分離。

本發(fā)明授權(quán)多級、多區(qū)域襯底定位系統(tǒng)在權(quán)利要求書中公布了：1.一種系統(tǒng)，其在腔室中包括： 在x方向及y方向上移動的第一x-y平移載物臺； 第二x-y平移載物臺，其位于所述第一x-y平移載物臺上方且耦合到所述第一x-y平移載物臺，所述第二x-y平移載物臺在所述第一x-y平移載物臺靜止時在所述x方向及所述y方向上移動； 卡盤，其位于所述第二x-y平移載物臺上方且耦合到所述第二x-y平移載物臺，以支撐襯底且通過所述第一x-y載物臺及所述第二x-y載物臺在所述x方向及y方向上平移，其中所述x方向及所述y方向平行于所述卡盤的表面，所述襯底將安裝在所述卡盤的所述表面上； 第一屏障，其耦合到所述第一x-y平移載物臺，以使所述腔室的第一區(qū)域與所述腔室的第二區(qū)域分離，其中所述第一區(qū)域包含所述卡盤上方及旁邊的空間且所述第二區(qū)域包含所述第一x-y平移載物臺旁邊的空間；及 第二屏障，其耦合到所述第二x-y平移載物臺，以使所述腔室的所述第一區(qū)域與所述腔室的第三區(qū)域分離，其中所述第三區(qū)域包含所述第二x-y平移載物臺旁邊的空間。

如需購買、轉(zhuǎn)讓、實施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)＠麢?quán)人科磊股份有限公司，其通訊地址為：美國加利福尼亞州；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。