北方集成電路技術創新中心(北京)有限公司翟冬梅獲國家專利權
買專利賣專利找龍圖騰，真高效！ 查專利查商標用IPTOP,全免費！專利年費監控用IP管家,真方便！
龍圖騰網獲悉北方集成電路技術創新中心(北京)有限公司申請的專利一種加熱裝置獲國家實用新型專利權，本實用新型專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN223390501U 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-26發布的實用新型授權公告中獲悉：該實用新型的專利申請號/專利號為：202422485150.8，技術領域涉及：H01L21/67；該實用新型一種加熱裝置是由翟冬梅;劉偉;范朋偉設計研發完成，并于2024-10-15向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種加熱裝置在說明書摘要公布了：本申請提供一種加熱裝置，用于激光退火設備，包括：控制單元和加熱臺，加熱臺包括加熱區域，加熱區域的形狀和尺寸與被加熱晶圓的形狀和尺寸適配，加熱區域被劃分為若干分區，若干分區至少包括第一分區，第一分區位于加熱區域的邊緣，控制單元分別電連接若干分區，并分別獨立控制若干分區的溫度。本申請的加熱裝置通過對加熱臺每個分區分別進行溫度補償，解決晶圓受熱不均的問題，使晶圓邊緣處受熱均一性明顯改善。
本實用新型一種加熱裝置在權利要求書中公布了：1.一種加熱裝置，用于激光退火設備，其特征在于，包括控制單元和加熱臺，所述加熱臺包括加熱區域，所述加熱區域的形狀和尺寸與被加熱晶圓的形狀和尺寸適配，所述加熱區域被劃分為若干分區，若干所述分區至少包括第一分區，所述第一分區位于所述加熱區域的邊緣，所述控制單元分別電連接若干所述分區，并分別獨立控制若干所述分區的溫度。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人北方集成電路技術創新中心(北京)有限公司，其通訊地址為：100176 北京市大興區經濟技術開發區文昌大道18號9幢一層；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
以上內容由AI智能生成
免責聲明
1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
開放平臺
擔保交易
惠及多方
會員特惠
專屬平臺
適合多方
數據共享
功能齊全
皖公網安備 34010402703815號