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龍圖騰網(wǎng)獲悉北京師范大學(xué)申請(qǐng)的專利一種反射型薄膜透過(guò)率的測(cè)量裝置獲國(guó)家實(shí)用新型專利權(quán)，本實(shí)用新型專利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN223389647U 。

龍圖騰網(wǎng)通過(guò)國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-09-26發(fā)布的實(shí)用新型授權(quán)公告中獲悉：該實(shí)用新型的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：202422486359.6，技術(shù)領(lǐng)域涉及：G01N21/55；該實(shí)用新型一種反射型薄膜透過(guò)率的測(cè)量裝置是由陳建軍設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2024-10-15向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本一種反射型薄膜透過(guò)率的測(cè)量裝置在說(shuō)明書摘要公布了：本實(shí)用新型公開了一種反射型薄膜透過(guò)率的測(cè)量裝置。本實(shí)用新型通過(guò)添加反射面，只需要分別測(cè)出薄膜的光強(qiáng)反射率R和薄膜?反射面的光強(qiáng)反射率R′，就能夠通過(guò)公式直接算出薄膜的透過(guò)率，不需要建立精密光學(xué)模型和復(fù)雜擬合；薄膜的反射光和反射面反射回來(lái)的光不發(fā)生干涉，不涉及振幅的疊加，僅為光強(qiáng)的疊加，只需要得到光強(qiáng)就能夠得到透過(guò)率，用兩次測(cè)量反射率測(cè)出薄膜的透過(guò)率；用本實(shí)用新型采用反射型測(cè)量透過(guò)率的過(guò)程中，不需要提前知道薄膜的厚度和膜的光學(xué)性質(zhì)，非常適合實(shí)時(shí)原位測(cè)量和監(jiān)測(cè)薄膜的生長(zhǎng)過(guò)程；所有的光學(xué)元件都在薄膜的一側(cè)，入射光可取角度范圍遠(yuǎn)大于橢偏儀角度范圍，易于與其他制膜設(shè)備集成。

本實(shí)用新型一種反射型薄膜透過(guò)率的測(cè)量裝置在權(quán)利要求書中公布了：1.一種反射型薄膜透過(guò)率的測(cè)量裝置，采用光纖系統(tǒng)，其特征在于，所述反射型薄膜透過(guò)率的測(cè)量裝置包括：薄膜、襯底、光源、入射光纖、出射光纖、探測(cè)器或光譜儀、計(jì)算機(jī)和反射面；其中，薄膜設(shè)置在透光的襯底上，薄膜上為環(huán)境；襯底的透光率≥5％；在薄膜之上設(shè)置入射光纖和出射光纖；光源耦合至入射光纖，出射光纖的末端耦合至探測(cè)器或光譜儀，探測(cè)器或光譜儀連接至計(jì)算機(jī)； 在測(cè)量薄膜的光強(qiáng)反射率時(shí)，光源發(fā)出光束經(jīng)入射光纖入射到薄膜上；入射光入射到環(huán)境與薄膜的交界面上，一部分光反射到環(huán)境中，一部分光折射到薄膜中；折射到薄膜的那部分光被薄膜與襯底的交界面反射和折射；在薄膜與襯底的交界面反射的光會(huì)被薄膜的上下兩個(gè)交界面來(lái)回反射，再折射到環(huán)境和襯底中去；在薄膜與襯底的交界面折射的光，從襯底的下表面透射；薄膜的反射光經(jīng)出射光纖由探測(cè)器或光譜儀接收，薄膜的反射光包括被環(huán)境與薄膜的交界面反射至環(huán)境的光以及被薄膜與襯底的交界面反射再經(jīng)環(huán)境與薄膜的交界面折射至環(huán)境的光； 在測(cè)量薄膜的透過(guò)率時(shí)，在襯底之下設(shè)置已知反射率的反射面，反射面的振幅反射率為r0，反射面的光強(qiáng)反射率R0＝|r0|2≥5％；薄膜的下表面到反射面的距離超過(guò)光源的干涉長(zhǎng)度；反射面將從襯底的下表面的透射光反射回襯底，反射回襯底的光再經(jīng)過(guò)薄膜透射至環(huán)境中去，透射光兩次經(jīng)過(guò)薄膜和襯底，襯底透射至襯底被反射面反射再經(jīng)薄膜透射至環(huán)境的光即反射面反射回來(lái)的光；薄膜的反射光和反射面反射回來(lái)的光一起經(jīng)出射光纖由探測(cè)器或光譜儀接收；此時(shí)探測(cè)器或光譜儀測(cè)到的光由兩部分組成：薄膜的反射光和反射面反射回來(lái)的光，這兩部分光不發(fā)生干涉。

如需購(gòu)買、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請(qǐng)人或?qū)＠麢?quán)人北京師范大學(xué)，其通訊地址為：100875 北京市海淀區(qū)新街口外大街19號(hào)；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。