江蘇先導微電子科技有限公司杜浩然獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉江蘇先導微電子科技有限公司申請的專利一種工藝氣體引入裝置獲國家實用新型專利權，本實用新型專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN223386211U 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-26發布的實用新型授權公告中獲悉：該實用新型的專利申請號/專利號為：202422792067.5，技術領域涉及：C23C14/22；該實用新型一種工藝氣體引入裝置是由杜浩然;樊俊;聶偉華設計研發完成，并于2024-11-15向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種工藝氣體引入裝置在說明書摘要公布了：本實用新型涉及真空鍍膜設備技術領域，公開了一種工藝氣體引入裝置，用于將工藝氣體引入真空腔體，包括氣體分配器、進氣管、隔膜閥；所述氣體分配器內設有多條氣體通道，所述氣體分配器的側壁周向設有多個與所述氣體通道連通的進氣口，所述氣體分配器的一端部設有多個與所述氣體通道連通的出氣口，所述進氣口連接有所述隔膜閥；所述進氣管的一端與多個所述出氣口連通，所述進氣管另一端延伸至所述真空腔體內。本實用新型的有益效果：將多種工藝氣體的輸送管路進行集成，簡化管路結構，便于布置安裝，降低生產成本，切斷氣體供應時，供氣設備管路中的殘留氣體無法進入真空腔體，避免真空腔體內的工藝氣體比例發生變化，確保各工藝過程的反應效率。
本實用新型一種工藝氣體引入裝置在權利要求書中公布了：1.一種工藝氣體引入裝置，用于將工藝氣體引入真空腔體，其特征在于：包括氣體分配器、進氣管、隔膜閥； 所述氣體分配器與所述真空腔體固定，所述氣體分配器內設有多條氣體通道，所述氣體分配器的側壁周向設有多個與所述氣體通道連通的進氣口，所述氣體分配器的一端部設有多個與所述氣體通道連通的出氣口，所述進氣口與所述出氣口、所述隔膜閥的數量對應，所述進氣口連接有所述隔膜閥； 所述進氣管的一端與多個所述出氣口連通，且所述進氣管的另一端延伸至所述真空腔體內； 其中，工藝氣體經所述進氣口從所述氣體通道由所述出氣口匯聚至所述進氣管，并引入所述真空腔體內。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人江蘇先導微電子科技有限公司，其通訊地址為：221000 江蘇省徐州市徐州高新技術產業開發區先導南路2號；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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