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龍圖騰網(wǎng)獲悉拓荊科技股份有限公司申請(qǐng)的專利一種晶舟交換機(jī)構(gòu)及雙腔三晶舟的晶圓加工設(shè)備獲國(guó)家實(shí)用新型專利權(quán)，本實(shí)用新型專利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN223390523U 。

龍圖騰網(wǎng)通過(guò)國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-09-26發(fā)布的實(shí)用新型授權(quán)公告中獲悉：該實(shí)用新型的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：202422822517.0，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H01L21/677；該實(shí)用新型一種晶舟交換機(jī)構(gòu)及雙腔三晶舟的晶圓加工設(shè)備是由姜全昌設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2024-11-19向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本一種晶舟交換機(jī)構(gòu)及雙腔三晶舟的晶圓加工設(shè)備在說(shuō)明書摘要公布了：本實(shí)用新型公開了一種晶舟交換機(jī)構(gòu)及雙腔三晶舟的晶圓加工設(shè)備，雙腔三晶舟的晶圓加工設(shè)備包括兩個(gè)裝載區(qū)和隔離門，兩個(gè)裝載區(qū)由隔離門間隔；其特征在于，晶舟交換機(jī)構(gòu)用于將兩個(gè)裝載區(qū)中的晶舟進(jìn)行交換，晶舟交換機(jī)構(gòu)包括運(yùn)動(dòng)臂、兩個(gè)抓取部和驅(qū)動(dòng)部；運(yùn)動(dòng)臂設(shè)置于隔離門的門口底部；兩個(gè)抓取部設(shè)置于運(yùn)動(dòng)臂上且分別用于抓取兩個(gè)裝載區(qū)中的晶舟；驅(qū)動(dòng)部設(shè)置于隔離門的門口底部且與運(yùn)動(dòng)臂連接，驅(qū)動(dòng)部用于驅(qū)動(dòng)運(yùn)動(dòng)臂運(yùn)動(dòng)并帶動(dòng)兩個(gè)抓取部在兩個(gè)裝載區(qū)中移動(dòng)交換。本實(shí)用新型先通過(guò)兩個(gè)抓取部抓取兩個(gè)裝載區(qū)中的兩個(gè)晶舟后，再由驅(qū)動(dòng)部帶動(dòng)運(yùn)動(dòng)臂進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，以連動(dòng)兩個(gè)抓取部在兩個(gè)裝載區(qū)中進(jìn)行旋轉(zhuǎn)交換，從而實(shí)現(xiàn)兩個(gè)裝載區(qū)中的晶舟交換需求。

本實(shí)用新型一種晶舟交換機(jī)構(gòu)及雙腔三晶舟的晶圓加工設(shè)備在權(quán)利要求書中公布了：1.一種晶舟交換機(jī)構(gòu)，應(yīng)用于雙腔三晶舟的晶圓加工設(shè)備，所述雙腔三晶舟的晶圓加工設(shè)備包括兩個(gè)裝載區(qū)和隔離門，兩個(gè)裝載區(qū)由隔離門間隔；其特征在于，所述晶舟交換機(jī)構(gòu)用于將兩個(gè)裝載區(qū)中的晶舟進(jìn)行交換，所述晶舟交換機(jī)構(gòu)包括： 運(yùn)動(dòng)臂，設(shè)置于所述隔離門的門口底部； 兩個(gè)抓取部，設(shè)置于所述運(yùn)動(dòng)臂上且分別用于抓取兩個(gè)裝載區(qū)中的晶舟； 驅(qū)動(dòng)部，設(shè)置于所述隔離門的門口底部且與所述運(yùn)動(dòng)臂連接，所述驅(qū)動(dòng)部用于驅(qū)動(dòng)所述運(yùn)動(dòng)臂運(yùn)動(dòng)并帶動(dòng)兩個(gè)抓取部在兩個(gè)裝載區(qū)中移動(dòng)交換。

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