南京孚克訊新材料有限公司詹軍獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉南京孚克訊新材料有限公司申請的專利CMP修整器表面防腐耐磨涂層的制備裝置獲國家實用新型專利權,本實用新型專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN223386232U 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-26發布的實用新型授權公告中獲悉:該實用新型的專利申請號/專利號為:202422900418.X,技術領域涉及:C23C16/50;該實用新型CMP修整器表面防腐耐磨涂層的制備裝置是由詹軍設計研發完成,并于2024-11-27向國家知識產權局提交的專利申請。
本CMP修整器表面防腐耐磨涂層的制備裝置在說明書摘要公布了:本實用新型公開了CMP修整器表面防腐耐磨涂層的制備裝置,涉及CMP修整器技術領域。本實用新型包括直流電弧等離子炬、載物臺和冷卻機構,所述載物臺的底部設置有保溫座,本實用新型通過設置冷卻機構,實現了對載物臺及其上CMP修整器的全面且高效的冷卻,確保了沉積過程中產生的熱量能夠及時被帶走,避免了因過熱而導致的涂層質量下降,通過外部液泵驅動冷卻水循環,并結合保溫座的保溫作用,能夠實現對沉積過程中溫度的精確控制,這種精確的溫度管理有助于優化等離子體的沉積效果,使金剛石粉末能夠在最佳的溫度條件下熔融并牢固地附著在修整器表面,提高了沉積效率,還減少了因溫度波動而導致的沉積失敗或質量不穩定的情況。
本實用新型CMP修整器表面防腐耐磨涂層的制備裝置在權利要求書中公布了:1.CMP修整器表面防腐耐磨涂層的制備裝置,其特征在于:包括直流電弧等離子炬3、載物臺4和冷卻機構7,所述載物臺4的底部設置有保溫座5,所述保溫座5的底部開設有安裝槽6,所述冷卻機構7包括第一進水管701,所述載物臺4的內部開設有第一導流槽705和第二導流槽706,所述第一進水管701通過第一導流槽705連通有第一出水管707,所述第一進水管701通過第一連接管703連接有第二進水管702,所述第二進水管702通過第二導流槽706連接有第二出水管708,所述第二出水管708和第一出水管707之間連接有第二連接管709,所述第一連接管703的一側設置有冷卻水管704,所述第二連接管709的一側設置有回流管710。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術,可聯系本專利的申請人或專利權人南京孚克訊新材料有限公司,其通訊地址為:210000 江蘇省南京市棲霞區棲霞街道十月公社科技創業園內S09廠房五樓;或者聯系龍圖騰網官方客服,聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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