蘇州勵索精密裝備科技有限公司劉宏偉獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉蘇州勵索精密裝備科技有限公司申請的專利一種用于浸沒式光刻機的浸沒頭檢測裝置及方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN119668046B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-26發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202411881811.7，技術領域涉及：G03F7/20；該發明授權一種用于浸沒式光刻機的浸沒頭檢測裝置及方法是由劉宏偉;金鋒設計研發完成，并于2024-12-19向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種用于浸沒式光刻機的浸沒頭檢測裝置及方法在說明書摘要公布了：本發明公開一種用于浸沒式光刻機的浸沒頭檢測裝置及方法，涉及浸沒頭檢測技術領域；包括外箱，外箱內部一端設置有檢測維護機構，在外箱內部滑動設置有檢測執行機構，檢測執行機構包括作業臺，在作業臺的兩個端面上，其中一個端面設置有超聲清潔機構，另一個端面上配合設置有樣品盤，在作業臺內部設置有流場檢測相機，且在樣品盤上布置有拍攝孔，流場檢測相機的鏡頭配合設置在樣品盤上拍攝孔中；檢測件用于對樣品盤進行維護檢測；本發明可便于對介質流場中的氣泡進行檢測，檢測過程不需要人力過多參與，模擬晶圓光刻時的作業形式，實現高效檢測，功能豐富，可便于實現維護。
本發明授權一種用于浸沒式光刻機的浸沒頭檢測裝置及方法在權利要求書中公布了：1.一種用于浸沒式光刻機的浸沒頭檢測裝置，包括外箱1，其特征在于：外箱1內部一端設置有檢測維護機構，檢測維護機構包括旋轉安裝在外箱1上的齒盤11，齒盤11上滑動設置有檢測盤14，檢測盤14上滑動設置有檢測件；在外箱1內部滑動設置有檢測執行機構，檢測執行機構包括滑動安裝在外箱1上的移動架25，移動架25上旋轉安裝有安裝環29，安裝環29上滑動設置有位置座33，位置座33上設置有升降電缸34，升降電缸34伸縮桿上旋轉設置有作業臺36，在作業臺36的兩個端面上，其中一個端面設置有超聲清潔機構，另一個端面上配合設置有樣品盤37，在作業臺36內部設置有流場檢測相機42，且在樣品盤37上布置有拍攝孔，流場檢測相機42的鏡頭配合設置在樣品盤37上拍攝孔中；檢測件用于對樣品盤37進行維護檢測。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人蘇州勵索精密裝備科技有限公司，其通訊地址為：215000 江蘇省蘇州市吳江區黎里鎮城司路158號；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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