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龍圖騰網(wǎng)獲悉探維科技(蘇州)有限公司申請的專利一種高精度光柵尺系統(tǒng)以及測量設(shè)備獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN119958428B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-09-26發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為：202411944026.1，技術(shù)領(lǐng)域涉及：G01B11/02；該發(fā)明授權(quán)一種高精度光柵尺系統(tǒng)以及測量設(shè)備是由李洪鵬;郭朋軍;李少華;冀建勇;時菲菲設(shè)計研發(fā)完成，并于2024-12-26向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本一種高精度光柵尺系統(tǒng)以及測量設(shè)備在說明書摘要公布了：本申請公開了一種高精度光柵尺系統(tǒng)以及測量設(shè)備。涉及超精密位移測量領(lǐng)域，該高精度光柵尺系統(tǒng)包括：反射光柵，設(shè)置在第一待測目標上；光柵尺讀數(shù)頭，與反射光柵相對設(shè)置在第二待測目標上，用于在檢測到第一待測目標與第二待測目標發(fā)生相對位移的情況下，輸出增量信號以及零位信號；控制模塊，與光柵尺讀數(shù)頭通信連接，用于接收增量信號以及零位信號，并通過增量信號以及零位信號，確定第一待測目標與第二待測目標之間發(fā)生的相對位移量。通過本申請，解決了相關(guān)技術(shù)中激光干涉儀、電容傳感器等超精密測量儀器在實際的測量應(yīng)用中存在局限性問題的技術(shù)問題。

本發(fā)明授權(quán)一種高精度光柵尺系統(tǒng)以及測量設(shè)備在權(quán)利要求書中公布了：1.一種高精度光柵尺系統(tǒng)，其特征在于，包括： 反射光柵，設(shè)置在第一待測目標上； 光柵尺讀數(shù)頭，與所述反射光柵相對設(shè)置在第二待測目標上，用于在檢測到所述第一待測目標與所述第二待測目標發(fā)生相對位移的情況下，輸出增量信號以及零位信號； 控制模塊，與所述光柵尺讀數(shù)頭通信連接，用于接收所述增量信號以及所述零位信號，并通過所述增量信號以及所述零位信號，確定所述第一待測目標與所述第二待測目標之間發(fā)生的相對位移量；所述控制模塊還包括激光器恒流源供電單元，用于為所述激光器供電；所述控制模塊還包括光電探測器偏置電壓穩(wěn)壓供電單元，用于為所述光柵尺讀數(shù)頭中的零位光電探測器以及光電探測器組供電； 所述光柵尺讀數(shù)頭還包括：激光器，用于發(fā)射初始光束；零位信號測量模塊，用于將所述初始光束處理成零位測量光以及增量測量光，并將所述零位測量光轉(zhuǎn)換成所述零位信號；增量信號測量模塊，用于接收所述增量測量光，并將所述增量測量光轉(zhuǎn)換為所述增量信號； 所述增量信號測量模塊還包括：直角棱鏡，用于接收并反射所述增量測量光；增量透射光柵，用于接收垂直入射的所述增量測量光，并將透射出的所述增量測量光入射至增量反射光柵，以形成多路干涉信號；光電探測器組，包括多個光電探測器，用于接收以及轉(zhuǎn)換所述多路干涉信號，得到所述增量信號； 其中，所述探測器組包含三個所述探測器，所述多路干涉信號為三路干涉信號，測量三個所述探測器對應(yīng)的所述三路干涉信號的光強中分別對應(yīng)的三個直流量與三個交流量，以及所述三路干涉信號對應(yīng)的三個初相位，將所述三個直流量與所述三個交流量以及所述三個初相位，轉(zhuǎn)換為相位恒定差為π的兩路正余弦信號，通過測得所述兩路正余弦信號的實時相位，獲得所述相對位移量。

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