杭州譜析光晶半導(dǎo)體科技有限公司許一力獲國家專利權(quán)
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龍圖騰網(wǎng)獲悉杭州譜析光晶半導(dǎo)體科技有限公司申請的專利一種MOSFET器件及制造方法獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán),本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予,授權(quán)公告號為:CN120187073B 。
龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-09-26發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉:該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為:202510645699.5,技術(shù)領(lǐng)域涉及:H10D30/66;該發(fā)明授權(quán)一種MOSFET器件及制造方法是由許一力;李鑫;劉倩倩設(shè)計研發(fā)完成,并于2025-05-20向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。
本一種MOSFET器件及制造方法在說明書摘要公布了:本發(fā)明涉及MOS半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域,且公開了一種MOSFET器件及制造方法,包括由若干個相互并列的MOS元胞構(gòu)成,單個所述MOS元胞包括漏極、源極、柵極、介質(zhì)層以及半導(dǎo)體外延層,所述半導(dǎo)體外延層包括N襯底層、N漂移層、負(fù)載P+層、P阱層和N阱層,所述P阱層包括P阱一層和P阱二層,并且P阱一層和P阱二層的截面輪廓均呈“L”字形狀;所述P阱一層和P阱二層之間設(shè)有導(dǎo)電介質(zhì),所述柵極還包括有U型柵,其中U型柵的開口向下,所述U型柵的開口內(nèi)填充有高K介質(zhì)。本發(fā)明通過通過U型柵結(jié)構(gòu)填充高k介質(zhì),增大了柵極對溝道的控制面積,顯著降低漏電流,同時保持高柵電容,提升器件的開關(guān)速度和能效比。
本發(fā)明授權(quán)一種MOSFET器件及制造方法在權(quán)利要求書中公布了:1.一種MOSFET器件,包括由若干個相互并列的MOS元胞構(gòu)成,單個所述MOS元胞包括漏極(1)、源極(2)、柵極(3)、介質(zhì)層(4)以及半導(dǎo)體外延層,所述半導(dǎo)體外延層包括N襯底層(5)、N漂移層(6)、負(fù)載P+層(7)、P阱層和N阱層(10),其特征在于:所述P阱層包括P阱一層(8)和P阱二層(9),并且P阱一層(8)和P阱二層(9)的截面輪廓均呈“L”字形狀;所述P阱一層(8)和P阱二層(9)之間設(shè)有導(dǎo)電介質(zhì)(11); 所述柵極(3)還包括有U型柵(31),其中U型柵(31)的開口向下; 所述U型柵(31)的開口內(nèi)填充有高K介質(zhì)(12)。
如需購買、轉(zhuǎn)讓、實施、許可或投資類似專利技術(shù),可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)@麢?quán)人杭州譜析光晶半導(dǎo)體科技有限公司,其通訊地址為:310000 浙江省杭州市蕭山區(qū)瓜瀝鎮(zhèn)航錢路168號3幢4層405(自主分割);或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服,聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。
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