英諾激光科技股份有限公司;常州英諾激光科技有限公司陶沙獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉英諾激光科技股份有限公司;常州英諾激光科技有限公司申請的專利一種激光化學腐蝕加工灰度階梯結構產品的方法及其系統獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN112719602B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-23發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202011622090.X，技術領域涉及：B23K26/352；該發明授權一種激光化學腐蝕加工灰度階梯結構產品的方法及其系統是由陶沙;張杰;秦國雙設計研發完成，并于2020-12-31向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種激光化學腐蝕加工灰度階梯結構產品的方法及其系統在說明書摘要公布了：本發明涉及一種激光化學腐蝕加工灰度階梯結構產品的方法及其系統，該方法包括利用激光對玻璃表面進行加工，以得到初加工產品；對所述初加工產品采用化學腐蝕，以得到灰度階梯結構的產品。本發明通過激光在玻璃表面加工出待加工的圖案，改變玻璃表面及下層的材料物理化學性質，并利用堿性腐蝕液進行化學腐蝕，由此加工出灰度階梯結構的產品，實現高效率地制備灰度階梯結構的光學微型器件。
本發明授權一種激光化學腐蝕加工灰度階梯結構產品的方法及其系統在權利要求書中公布了：1.一種激光化學腐蝕加工灰度階梯結構產品的方法，其特征在于，包括： 利用激光對玻璃表面進行加工，以得到初加工產品； 對所述初加工產品采用化學腐蝕，以得到灰度階梯結構的產品； 所述利用激光對玻璃表面進行加工，以得到初加工產品，包括： 采用紫外激光光束對玻璃表面加工出所需的圖案，以得到初加工產品； 所述紫外激光光束的波長為343nm至355nm，所述紫外激光光束的脈寬為250fs至950fs； 或者所述紫外激光光束的波長為266mm，所述紫外激光光束的脈寬不大于15ps； 或者所述紫外激光光束的波長為213mm，所述紫外激光光束的脈寬不大于10ns； 所述對所述初加工產品采用化學腐蝕，以得到灰度階梯結構的產品，包括： 采用堿性腐蝕液對所述初加工產品的圖案進行化學腐蝕，以得到灰度階梯結構的產品； 所述堿性腐蝕液為KOH水溶液； 所述堿性腐蝕液的腐蝕溫度為97℃。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人英諾激光科技股份有限公司;常州英諾激光科技有限公司，其通訊地址為：518000 廣東省深圳市南山區科技園北區朗山二路8號清溢光電大樓305（辦公場所）；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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