買專利賣專利找龍圖騰，真高效！ 查專利查商標(biāo)用IPTOP,全免費(fèi)！專利年費(fèi)監(jiān)控用IP管家,真方便！

龍圖騰網(wǎng)獲悉武漢頤光科技有限公司申請(qǐng)的專利一種非理想橢偏系統(tǒng)的校準(zhǔn)方法獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN115752265B 。

龍圖騰網(wǎng)通過(guò)國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-09-23發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：202211401201.3，技術(shù)領(lǐng)域涉及：G01B11/06；該發(fā)明授權(quán)一種非理想橢偏系統(tǒng)的校準(zhǔn)方法是由石雅婷;劉亞鼎;郭春付;李偉奇;張傳維;何勇;薛小汝設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2022-11-09向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本一種非理想橢偏系統(tǒng)的校準(zhǔn)方法在說(shuō)明書摘要公布了：本發(fā)明提供一種非理想橢偏系統(tǒng)的校準(zhǔn)方法，包括：獲取標(biāo)準(zhǔn)樣件在測(cè)量系統(tǒng)的實(shí)測(cè)光強(qiáng)信息并進(jìn)行歸一化，得到標(biāo)準(zhǔn)樣件的實(shí)測(cè)歸一化光強(qiáng)信息；根據(jù)標(biāo)準(zhǔn)樣件的實(shí)測(cè)歸一化光強(qiáng)信息和理論歸一化光強(qiáng)信息，擬合迭代出測(cè)量系統(tǒng)的系統(tǒng)參數(shù)；獲取待測(cè)樣件的實(shí)測(cè)光強(qiáng)信息并進(jìn)行歸一化，得到待測(cè)樣件的實(shí)測(cè)歸一化光強(qiáng)信息；根據(jù)擬合迭代出的所述測(cè)量系統(tǒng)的系統(tǒng)參數(shù)，基于待測(cè)樣件的實(shí)測(cè)歸一化光強(qiáng)信息和理論歸一化光強(qiáng)信息，擬合迭代出待測(cè)樣件參數(shù)。本發(fā)明在求解系統(tǒng)參數(shù)時(shí)，在系統(tǒng)參數(shù)中新增三角函數(shù)的擬合參數(shù)，當(dāng)波片存在傾斜時(shí)，依舊可以進(jìn)行高精度逐波長(zhǎng)校準(zhǔn)。

本發(fā)明授權(quán)一種非理想橢偏系統(tǒng)的校準(zhǔn)方法在權(quán)利要求書中公布了：1.一種非理想橢偏系統(tǒng)的校準(zhǔn)方法，其特征在于，包括： 獲取標(biāo)準(zhǔn)樣件在測(cè)量系統(tǒng)的實(shí)測(cè)光強(qiáng)信息并進(jìn)行歸一化，得到標(biāo)準(zhǔn)樣件的實(shí)測(cè)歸一化光強(qiáng)信息； 根據(jù)標(biāo)準(zhǔn)樣件的實(shí)測(cè)歸一化光強(qiáng)信息和理論歸一化光強(qiáng)信息，擬合迭代出測(cè)量系統(tǒng)的系統(tǒng)參數(shù)，所述系統(tǒng)參數(shù)包括檢偏復(fù)合波片的相位延遲量、檢偏復(fù)合波片的方位角、起偏復(fù)合波片的相位延遲量、起偏復(fù)合波片的方位角、檢偏片的方位角以及起偏片的方位角，和新增的檢偏復(fù)合波片的相位延遲量的三角函數(shù)相位以及振幅、檢偏復(fù)合波片的方位角的三角函數(shù)相位以及振幅、起偏復(fù)合波片的相位延遲量的三角函數(shù)相位以及振幅、起偏復(fù)合波片的方位角的三角函數(shù)相位以及振幅、檢偏片的方位角的三角函數(shù)相位以及振幅以及起偏片的方位角的三角函數(shù)相位以及振幅； 獲取待測(cè)樣件的實(shí)測(cè)光強(qiáng)信息并進(jìn)行歸一化，得到待測(cè)樣件的實(shí)測(cè)歸一化光強(qiáng)信息； 根據(jù)擬合迭代出的所述測(cè)量系統(tǒng)的系統(tǒng)參數(shù)，基于待測(cè)樣件的實(shí)測(cè)歸一化光強(qiáng)信息和理論歸一化光強(qiáng)信息，擬合迭代出待測(cè)樣件參數(shù)； 所述根據(jù)標(biāo)準(zhǔn)樣件的實(shí)測(cè)歸一化光強(qiáng)信息和理論歸一化光強(qiáng)信息，擬合迭代出測(cè)量系統(tǒng)的系統(tǒng)參數(shù)，包括： 構(gòu)建測(cè)量系統(tǒng)的系統(tǒng)模型： （4）； 其中，為樣品穆勒矩陣,為起偏臂以及檢偏臂的偏振片穆勒矩陣，為起偏復(fù)合波片與檢偏復(fù)合波片的旋光角，為起偏復(fù)合波片與檢偏復(fù)合波片的光軸方位角，為電機(jī)一與電機(jī)二的轉(zhuǎn)速，以及為起偏復(fù)合波片和檢偏復(fù)合波片的相位延遲量穆勒矩陣，R為旋轉(zhuǎn)矩陣，P、A、C1、C2為起偏片、檢偏片、起偏復(fù)合波片以及檢偏復(fù)合波片的初始方位角，t為時(shí)間，為歸一化自然光的Stokes向量，、、、、以及為測(cè)量系統(tǒng)的系統(tǒng)參數(shù)，其中，與為檢偏片的方位角的三角函數(shù)的振幅和相位，與為檢偏復(fù)合波片的方位角的三角函數(shù)的振幅和相位，與為檢偏復(fù)合波片的相位延遲量的三角函數(shù)的振幅和相位，與為起偏復(fù)合波片的方位角的三角函數(shù)的振幅和相位，與為起偏復(fù)合波片的相位延遲量的三角函數(shù)的振幅和相位，與為起偏片的方位角的三角函數(shù)的振幅和相位； 確定初始系統(tǒng)參數(shù)，根據(jù)公式（4），求解出對(duì)應(yīng)的理論歸一化光強(qiáng)信息，并計(jì)算求解出的理論歸一化光強(qiáng)信息與標(biāo)準(zhǔn)樣件的實(shí)測(cè)歸一化光強(qiáng)信息之間的評(píng)價(jià)值； 通過(guò)不斷調(diào)整系統(tǒng)參數(shù)，基于公式（4）求解出對(duì)應(yīng)的理論歸一化光強(qiáng)信息，直到求解出的理論歸一化光強(qiáng)信息與標(biāo)準(zhǔn)樣件的實(shí)測(cè)歸一化光強(qiáng)信息之間的評(píng)價(jià)值滿足條件，獲取測(cè)量系統(tǒng)的系統(tǒng)參數(shù)。

如需購(gòu)買、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請(qǐng)人或?qū)＠麢?quán)人武漢頤光科技有限公司，其通訊地址為：430000 湖北省武漢市東湖新技術(shù)開發(fā)區(qū)金融港四路10號(hào)6號(hào)樓（自貿(mào)區(qū)武漢片區(qū)）；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。